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1. (WO2017192622) PROTECTIVE METAL OXY-FLUORIDE COATINGS
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Pub. No.:    WO/2017/192622    International Application No.:    PCT/US2017/030690
Publication Date: 09.11.2017 International Filing Date: 02.05.2017
IPC:
H01L 21/56 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: FENWICK, David; (US).
LEE, Chengtsin; (US).
SUN, Jennifer Y.; (US).
CHEN, Yikai; (US)
Agent: PORTNOVA, Marina; (US).
KIMES, Benjamin A.; (US)
Priority Data:
62/331,326 03.05.2016 US
15/498,383 26.04.2017 US
Title (EN) PROTECTIVE METAL OXY-FLUORIDE COATINGS
(FR) REVÊTEMENTS PROTECTEURS D'OXYFLUORURE MÉTALLIQUE
Abstract: front page image
(EN)An article comprises a body having a protective coating. The protective coating is a thin film that comprises a metal oxy-fluoride. The metal oxy-fluoride has an empirical formula of MxOyFz, where M is a metal, y has a value of 0.1 to 1.9 times a value of x and z has a value of 0.1 to 3.9 times the value of x. The protective coating has a thickness of 1 to 30 microns and a porosity of less than 0.1%.
(FR)L'invention concerne un objet qui comprend un corps comportant un revêtement protecteur. Le revêtement protecteur est un film mince qui comprend un oxyfluorure métallique. L'oxyfluorure métallique présente une formule empirique de MxOyFz, M étant un métal, y présentant une valeur de 0,1 à 1,9 fois une valeur de x, et z présentant une valeur de 0,1 à 3,9 fois la valeur de x. Le revêtement protecteur présente une épaisseur de 1 à 30 microns et une porosité inférieure à 0,1 %.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)