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1. (WO2017192352) COLD CATHODE IONIZATION VACUUM GAUGE WITH MULTIPLE CATHODES
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Pub. No.:    WO/2017/192352    International Application No.:    PCT/US2017/029829
Publication Date: 09.11.2017 International Filing Date: 27.04.2017
IPC:
H01J 41/06 (2006.01), G01L 21/34 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810 (US)
Inventors: SWINNEY, Timothy, C.; (US).
PERCY, Clinton, L.; (US).
MARION, Duane, W.; (US).
KELLY, Brandon, J.; (US)
Agent: SMITH, James, M.; (US).
BROOK, David, E.; (US).
WAKIMURA, Mary, Lou; (US).
PIERCE, N., Scott; (US).
CARROLL, Alice, O.; (US)
Priority Data:
62/330,308 02.05.2016 US
Title (EN) COLD CATHODE IONIZATION VACUUM GAUGE WITH MULTIPLE CATHODES
(FR) JAUGE DE VIDE À IONISATION À CATHODE FROIDE AVEC CATHODES MULTIPLES
Abstract: front page image
(EN)A cold cathode ionization gauge includes multiple cathodes providing different spacings between the cathodes and an anode. The multiple cathodes allow for pressure measurements over wider ranges of pressure. A first cathode with a larger spacing may provide current based on Townsend discharge; whereas, a second cathode having a smaller spacing may provide current based on both Townsend discharge at higher pressures and on Paschen's Law discharge at still higher pressures. A feature on the second cathode may support Paschen's Law discharge. Large resistances between the cathodes and a return to power supply enable control of output profiles to extend the pressure ranges with accurate responses and avoid output minima. Pressure measurements may be made based on currents from respective cathodes dependent on the outputs of the cathodes through the wide pressure range of measurement. The multiple cathodes may also provide measurements that avoid the discontinuities found in current outputs of the respective cathodes.
(FR)L'invention concerne une jauge d'ionisation à cathode froide comprenant de multiples cathodes fournissant des espacements différents entre les cathodes et une anode. Les multiples cathodes permettent des mesures de pression sur des plages de pression plus étendues. Une première cathode ayant un plus grand espacement peut fournir un courant sur la base d'une décharge de Townsend, tandis qu'une seconde cathode ayant un plus petit espacement peut fournir un courant sur la base à la fois d'une décharge de Townsend à des pressions plus élevées et d'une décharge de loi de Paschen à des pressions encore plus élevées. Une caractéristique sur la seconde cathode peut supporter une décharge de loi de Paschen. De grandes résistances entre les cathodes et un retour à l'alimentation électrique permettent de commander des profils de sortie pour étendre les plages de pression avec des réponses précises et éviter des minima de sortie. Des mesures de pression peuvent être effectuées sur la base de courants provenant de cathodes respectives dépendant des sorties des cathodes sur la plage étendue de pressions de mesure. Les multiples cathodes peuvent également fournir des mesures qui évitent les discontinuités trouvées dans les sorties de courant des cathodes respectives.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)