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1. (WO2017191829) METHOD FOR STARTING ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS
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Pub. No.:    WO/2017/191829    International Application No.:    PCT/JP2017/017139
Publication Date: 09.11.2017 International Filing Date: 01.05.2017
IPC:
B08B 9/032 (2006.01), B01D 61/14 (2006.01), B08B 3/08 (2006.01), B08B 3/10 (2006.01), B08B 3/12 (2006.01), B08B 7/02 (2006.01), C02F 1/44 (2006.01)
Applicants: NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. [JP/JP]; 2-9-8, Okada, Atsugi-shi, Kanagawa 2430021 (JP)
Inventors: AMAMIYA Shinichiro; (JP).
SAKAI Naoya; (JP).
SUZUKI Norihiko; (JP).
ABE Toshikazu; (JP)
Agent: SAKURA PATENT OFFICE, P.C.; Yoshizawa Bldg., 18-14, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
Priority Data:
2016-093121 06.05.2016 JP
Title (EN) METHOD FOR STARTING ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE MISE EN ROUTE D'UN APPAREIL DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE
(JA) 超純水製造装置の立ち上げ方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a method for starting an ultrapure water production apparatus (1) whereby the phenomenon of hunting for a fine particle count after the start of ultrapure water production can be suppressed and ultrapure water having an extremely low concentration of fine particles can be stably obtained. A method for starting an ultrapure water production apparatus (1), comprising cleaning an inside system of the ultrapure water production apparatus (1) prior to supplying of ultrapure water to a usage location in an ultrapure water production apparatus (1) for processing primary pure water to produce ultrapure water and supplying the ultrapure water to the usage location, wherein pure water containing hydrogen peroxide or a gas is caused to accumulate in or flow through a flow channel of the ultrapure water production apparatus (1), vibration is imparted from the outside to at least a portion of the flow channel, and fine particles adhering to an inside surface of the flow channel are removed.
(FR)L'invention porte sur un procédé de mise en route d'un appareil de production d'eau ultrapure (1) qui permet de supprimer le phénomène de recherche d'un nombre de particules fines après la mise en route de la production d'eau ultrapure et d'obtenir de manière stable de l'eau ultrapure ayant une concentration extrêmement faible de particules fines. L'invention porte également sur un procédé de mise en route d'un appareil de production d'eau ultrapure (1) qui consiste à nettoyer un système interne de l'appareil de production d'eau ultrapure (1) avant d'envoyer l'eau ultrapure dans une section d'utilisation d'un appareil de production d'eau ultrapure (1) afin de traiter l'eau pure de base pour produire l'eau ultrapure et l'envoyer dans la section d'utilisation, l'eau pure contenant du peroxyde d'hydrogène ou un gaz étant amenée à s'accumuler ou à s'écouler dans un canal d'écoulement de l'appareil de production d'eau ultrapure (1); une vibration est transmise de l'extérieur à au moins une partie du canal d'écoulement, et des particules fines adhérant à une surface intérieure du canal d'écoulement sont éliminées.
(JA)超純水製造開始後の微粒子数のハンチング現象を抑制し、微粒子濃度の極めて低い超純水を安定して得ることのできる超純水製造装置(1)の立ち上げ方法を提供する。一次純水を処理して超純水を製造し、使用場所へ供給する超純水製造装置(1)において、前記超純水を前記使用場所へ供給するに先立ち、前記超純水製造装置(1)系内を洗浄する超純水製造装置(1)の立ち上げ方法であって、前記超純水製造装置(1)の流路に、過酸化水素又は気体を含有する純水を滞留ないし通流させて、前記流路の少なくとも一部に、外部から振動を与え、前記流路の内表面に付着した微粒子を除去する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)