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1. (WO2017191796) THIN-FILM PRODUCTION DEVICE, AND THIN-FILM PRODUCTION METHOD
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Pub. No.:    WO/2017/191796    International Application No.:    PCT/JP2017/016584
Publication Date: 09.11.2017 International Filing Date: 26.04.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01)
Applicants: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP)
Inventors: KIMURA Tooru; (JP)
Agent: ISHIJIMA Shigeo; (JP).
ABE Hideki; (JP)
Priority Data:
2016-093400 06.05.2016 JP
Title (EN) THIN-FILM PRODUCTION DEVICE, AND THIN-FILM PRODUCTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILM MINCE
(JA) 薄膜製造装置、薄膜製造方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is art that enables the long-term use of a film thickness sensor. Fine particles of a film formation material 37 are emitted from a film formation source 12 so as to grow a thin film on a film formation object 15 and a film thickness sensor 31, a measured growth rate of the thin film is obtained by the film thickness sensor 31, the measured growth rate and a preset reference rate are compared, and when electric power is varied such that the measured growth rate approaches the reference rate, a shutter 35 between the film thickness sensor 31 and an emitting part 38 is opened and closed, thus shortening the time for the fine particles to reach the film thickness sensor 31. The film thickness of the thin film grown on the film thickness sensor 31 is less than when the shutter 35 is not opened and closed, thus lengthening the service life of the film thickness sensor 31.
(FR)La présente invention permet l'utilisation prolongée d'un capteur d'épaisseur de film. Des particules fines d'un matériau de formation de film 37 sont émises à partir d'une source de formation de film 12 de manière à faire croître un film mince sur un objet de formation de film 15 et un capteur d'épaisseur de film 31 ; une vitesse de croissance du film mince mesurée est obtenue par le capteur d'épaisseur de film 31 ; on compare la vitesse de croissance mesurée et une vitesse de référence préétablie et lorsque l'on fait varier la puissance électrique de telle sorte que la vitesse de croissance mesurée s'approche de la vitesse de reference, un obturateur 35 entre le capteur d'épaisseur de film 31 et une partie d'émission 38 est ouvert et fermé, ce qui réduit le temps pendant lequel les particules fines peuvent atteindre le capteur d'épaisseur de film 31. L'épaisseur de film du film mince formé sur le capteur d'épaisseur de film 31 est inférieure à celle obtenue lorsque l'obturateur 35 est fermé et non ouvert, ce qui prolonge la durée de vie du capteur d'épaisseur de film 31.
(JA)膜厚センサを長期間使用できる技術を提供する。成膜源12から成膜材料37の微粒子を放出させ成膜対象物15と膜厚センサ31とに薄膜を成長させ、膜厚センサ31によって薄膜の測定成長速度を求め、測定成長速度と、予め設定された基準速度とを比較して、電力を変化させて測定成長速度を基準速度に近づける際に、膜厚センサ31と放出部38との間のシャッタ35を開閉させて、膜厚センサ31に微粒子が到達する時間を短くする。膜厚センサ31に成長する薄膜の膜厚はシャッタ35を開閉させない場合よりも薄くなるので、膜厚センサ31の寿命が長くなる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)