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1. (WO2017186483) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING THE PROPERTY OF A STRUCTURE, DEVICE MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.: WO/2017/186483 International Application No.: PCT/EP2017/058676
Publication Date: 02.11.2017 International Filing Date: 11.04.2017
IPC:
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/956 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: TINNEMANS, Patricius, Aloysius, Jacobus; NL
MATHIJSSEN, Simon, Gijsbert, Josephus; NL
ROOBOL, Sander, Bas; NL
LIN, Nan; NL
Agent: BROEKEN, Petrus; NL
Priority Data:
16167643.229.04.2016EP
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING THE PROPERTY OF A STRUCTURE, DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR DÉTERMINER LA PROPRIÉTÉ D'UNE STRUCTURE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract: front page image
(EN) A structure of interest (T) is irradiated with radiation for example in the x-ray or EUV waveband, and scattered radiation is detected by a detector (19, 274, 908, 1012). A processor (PU) calculates a property such as linewidth (CD) or overlay (OV), for example by simulating (S16) interaction of radiation with a structure and comparing (S17) the simulated interaction with the detected radiation. The method is modified (S14a, S15a, S19a) to take account of changes in the structure which are caused by the inspection radiation. These changes may be for example shrinkage of the material, or changes in its optical characteristics. The changes may be caused by inspection radiation in the current observation or in a previous observation.
(FR) Selon la présente invention, une structure d'intérêt (T) est irradiée avec un rayonnement, par exemple dans la bande d’one des rayons X ou EUV, et le rayonnement diffusé est détecté par un détecteur (19, 274, 908, 1012). Un processeur (PU) calcule une propriété telle que la largeur de ligne (CD) ou le recouvrement (OV), par exemple en simulant (S16) l'interaction de rayonnement avec une structure et en comparant (S17) l'interaction simulée au rayonnement détecté. Le procédé est modifié (S14a, S15a, S19a) pour prendre en compte des changements dans la structure qui sont causés par le rayonnement d'inspection. Ces changements peuvent être, par exemple, le retrait du matériau, ou des changements de ses caractéristiques optiques. Les changements peuvent être provoqués par un rayonnement d'inspection dans l'observation actuelle ou dans une observation précédente.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)