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1. (WO2017184400) ECO-EFFICIENCY CHARACTERIZATION TOOL
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Pub. No.:    WO/2017/184400    International Application No.:    PCT/US2017/027155
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 12.04.2017
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: DENOME, Mark, Robert; (US).
VENUGOPAL, Vijayakumar; (US).
KUMAR, Ashish; (IN).
THANGAMANY, Vijai; (IN).
KAPADIA, Somil; (IN).
HSIEH, Ching-Hong; (US)
Agent: PORTNOVA, Marina; (US).
KIMES, Benjamin, A.; (US)
Priority Data:
15/134,234 20.04.2016 US
Title (EN) ECO-EFFICIENCY CHARACTERIZATION TOOL
(FR) OUTIL DE CARACTÉRISATION ÉCO-EFFICACE
Abstract: front page image
(EN)A method for wafer point by point analysis includes receiving a selection of manufacturing equipment, utility use data, and utilization data. A water eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. An emissions eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. An electrical energy eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. A combined eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and water eco-efficiency characterization, emissions eco-efficiency characterization, and electrical energy eco-efficiency characterizations. The combined ecoefficiency characterization is provided for display by a graphical user interface.
(FR)L'invention concerne un procédé d'analyse point par point de plaquette comprenant la réception d'une sélection d'équipement de fabrication, de données d'utilisation de service et de données d'exploitation. Une caractérisation d'économie d'eau est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économie d'émissions est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économie d'énergie électrique est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économies combinées est calculée sur la base des données d'exploitation et de la caractérisation d'économie d'eau, de la caractérisation d'économie d'émissions et de la caractérisation d'économie d'énergie électrique. La caractérisation d'économies combinées est fournie pour être affichée par une interface utilisateur graphique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)