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1. (WO2017184400) ECO-EFFICIENCY CHARACTERIZATION TOOL
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Pub. No.: WO/2017/184400 International Application No.: PCT/US2017/027155
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 12.04.2017
IPC:
G05B 19/418 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19
Programme-control systems
02
electric
418
Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control (DNC), flexible manufacturing systems (FMS), integrated manufacturing systems (IMS), computer integrated manufacturing (CIM)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02
Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054, US
Inventors:
DENOME, Mark, Robert; US
VENUGOPAL, Vijayakumar; US
KUMAR, Ashish; IN
THANGAMANY, Vijai; IN
KAPADIA, Somil; IN
HSIEH, Ching-Hong; US
Agent:
PORTNOVA, Marina; US
KIMES, Benjamin, A.; US
Priority Data:
15/134,23420.04.2016US
Title (EN) ECO-EFFICIENCY CHARACTERIZATION TOOL
(FR) OUTIL DE CARACTÉRISATION ÉCO-EFFICACE
Abstract:
(EN) A method for wafer point by point analysis includes receiving a selection of manufacturing equipment, utility use data, and utilization data. A water eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. An emissions eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. An electrical energy eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and the utility use data. A combined eco-efficiency characterization is calculated based on the utilization data and water eco-efficiency characterization, emissions eco-efficiency characterization, and electrical energy eco-efficiency characterizations. The combined ecoefficiency characterization is provided for display by a graphical user interface.
(FR) L'invention concerne un procédé d'analyse point par point de plaquette comprenant la réception d'une sélection d'équipement de fabrication, de données d'utilisation de service et de données d'exploitation. Une caractérisation d'économie d'eau est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économie d'émissions est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économie d'énergie électrique est calculée sur la base des données d'exploitation et des données d'utilisation de service. Une caractérisation d'économies combinées est calculée sur la base des données d'exploitation et de la caractérisation d'économie d'eau, de la caractérisation d'économie d'émissions et de la caractérisation d'économie d'énergie électrique. La caractérisation d'économies combinées est fournie pour être affichée par une interface utilisateur graphique.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)