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1. (WO2017184223) SUBSTRATE SUPPORT PEDESTAL HAVING PLASMA CONFINEMENT FEATURES
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Pub. No.:    WO/2017/184223    International Application No.:    PCT/US2017/014926
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 25.01.2017
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: LIN, Xing; (US).
ZHOU, Jianhua; (US).
HAMMOND, Edward P., IV; (US).
YE, Zheng John; (US).
SU, Zonghui; (US).
CHO, Jaeyong; (US).
ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; (US).
TABOADA, Keith; (US)
Priority Data:
62/326,588 22.04.2016 US
Title (EN) SUBSTRATE SUPPORT PEDESTAL HAVING PLASMA CONFINEMENT FEATURES
(FR) SOCLE DE SUPPORT DE SUBSTRAT À ÉLÉMENTS DE CONFINEMENT DE PLASMA
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus for a heated substrate support pedestal is provided. In one embodiment, the heated substrate support pedestal includes a body comprising a ceramic material, a plurality of heating elements encapsulated within the body A stem is coupled to a bottom surface of the body. A plurality of heater elements, a top electrode and a shield electrode are disposed within the body. The top electrode is disposed adjacent a top surface of the body, while the shield electrode is disposed adjacent the bottom surface of the body. A conductive rod is disposed through the stem and is coupled to the top electrode.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil pour un socle de support de substrat chauffé. Dans un mode de réalisation, le socle de support de substrat chauffé comprend un corps comportant un matériau céramique, une pluralité d'éléments chauffants encapsulés à l'intérieur du corps, une tige couplée à une surface inférieure du corps. Une pluralité d'éléments chauffants, une électrode supérieure et une électrode protectrice sont disposés à l'intérieur du corps. L'électrode supérieure est disposée adjacente à une surface supérieure du corps, alors que l'électrode protectrice est disposée adjacente à la surface inférieure du corps. Une tige conductrice est disposée à travers la tige et est couplée à l'électrode supérieure.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)