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1. (WO2017183304) STATIC ELECTRICITY DISTRIBUTION MEASURING DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/183304 International Application No.: PCT/JP2017/007452
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 27.02.2017
IPC:
G01R 29/12 (2006.01) ,G01R 29/24 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
29
Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/-G01R27/135
12
Measuring electrostatic fields
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
29
Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/-G01R27/135
24
Arrangements for measuring quantities of charge
Applicants:
国立研究開発法人産業技術総合研究所 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 東京都千代田区霞が関1丁目3番1号 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-Ku Tokyo 1008921, JP
Inventors:
菊永 和也 Kikunaga Kazuya; JP
Agent:
高松 孝行 Takamatsu Takayuki; JP
鈴木 徳子 Suzuki Tokuko; JP
Priority Data:
2016-08548521.04.2016JP
Title (EN) STATIC ELECTRICITY DISTRIBUTION MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE DISTRIBUTION D'ÉLECTRICITÉ STATIQUE
(JA) 静電気分布計測装置
Abstract:
(EN) [Problem] In conventional static electricity distribution measuring devices, there has been a problem of not being able to quickly measure wide-range static electricity amount distribution with high spatial resolution and wide range. [Solution] The present invention is provided with: a detection unit 20 wherein a plurality of sensors for detecting potential changes are provided on a surface, said potential changes being generated by changing, by relatively moving along a surface of an electrostatically charged subject 100 to be measured, the distance to the surface of the subject; a reference distance measuring unit that measures the distance between the surface of the subject and the surface of the detection unit; a distance adjustment unit that adjusts the distance so that the distance is a predetermined reference distance; and a vibrating unit that changes, in a predetermined cycle, the distance between the surface of the subject and the surface of the detection unit.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est que dans les dispositifs de mesure de distribution d'électricité statique classiques, il n'est pas possible de mesurer rapidement une distribution de quantité d'électricité statique de grande portée avec une résolution spatiale élevée et une grande portée. La solution selon l'invention porte sur : une unité de détection (20) dans laquelle une pluralité de capteurs pour détecter des changements de potentiel sont disposés sur une surface, lesdits changements de potentiel étant générés en modifiant, par déplacement relatif le long d'une surface d'un sujet à charge électrostatique (100) à mesurer, la distance à la surface du sujet ; une unité de mesure de distance de référence qui mesure la distance entre la surface du sujet et la surface de l'unité de détection ; une unité de réglage de distance qui règle la distance de telle sorte que la distance est une distance de référence prédéterminée ; et une unité vibrante qui modifie, dans un cycle prédéterminé, la distance entre la surface du sujet et la surface de l'unité de détection.
(JA) 【課題】従来の静電気分布計測装置では、広範囲の静電気量を高空間分解能・広範囲でかつ素早く分布計測することができないという課題があった。 【解決手段】帯電した計測対象物100の表面に沿って相対的に移動して、計測対象物の表面との距離を変化させることにより生じる電位の変化を検出するセンサが表面に複数設けられた検出部20と、計測対象物の表面と検出部の表面との距離を測定する基準距離測定部と、その距離が予め定められた基準距離になるように調整する距離調整部と、所定の周期で計測対象物の表面と検出部の表面との距離を変化させる振動部と具備する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)