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1. (WO2017183181) THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASUREMENT DEVICE
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Pub. No.:    WO/2017/183181    International Application No.:    PCT/JP2016/062756
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 22.04.2016
IPC:
G01B 11/25 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 2951 Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928507 (JP)
Inventors: WATANABE, Daichi; (JP)
Agent: MORISHITA Sakaki; (JP)
Priority Data:
Title (EN) THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元形状測定装置
Abstract: front page image
(EN)This three-dimensional shape measurement device is provided with: an interference fringe projector 20 for scanning interference fringes and projecting one of a plurality of interference fringe patterns 70 having different bright and dark interference fringe positions onto an object of measurement; an imaging device 40 for imaging the object of measurement having the interference fringes projected thereon and using each of a plurality of imaging conditions to generate a plurality of interference fringe images corresponding to at least three different interference fringe patterns; a condition selection unit for selecting, for each pixel and on the basis of the pixel value of each pixel in the plurality of interference fringe images imaged using each of the plurality of imaging conditions, the interference fringe images of which imaging condition to use to calculate a phase distribution image of the object of measurement; and a shape calculation unit for calculating the phase of each pixel of the phase distribution image on the basis of the pixel values of the plurality of interference fringe images corresponding to the imaging conditions selected for each pixel by the condition selection unit and calculating three-dimensional shape data for the object of measurement.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure de forme tridimensionnelle qui comprend : un projecteur de franges d'interférence 20 pour balayer des franges d'interférence et projeter un motif parmi une pluralité de motifs de franges d'interférence 70 ayant des positions de franges d'interférence claires et sombres différentes sur un objet de mesure ; un dispositif d'imagerie 40 pour imager l'objet de mesure ayant les franges d'interférence projetées sur ce dernier et utiliser de chacune d'une pluralité de conditions d'imagerie pour générer une pluralité d'images de franges d'interférence correspondant à au moins trois motifs de franges d'interférence différents ; une unité de sélection de condition pour sélectionner, pour chaque pixel et sur la base de la valeur de pixel de chaque pixel dans la pluralité d'images de frange d'interférence imagées à l'aide de chacune de la pluralité de conditions d'imagerie, les images de frange d'interférence dont la condition d'imagerie est à utiliser pour calculer une image de distribution de phase de l'objet de mesure ; et une unité de calcul de forme pour calculer la phase de chaque pixel de l'image de distribution de phase sur la base des valeurs de pixel de la pluralité d'images de frange d'interférence correspondant aux conditions d'imagerie sélectionnées pour chaque pixel par l'unité de sélection de condition et calculer des données de forme tridimensionnelle pour l'objet de mesure.
(JA)三次元形状測定装置100は、干渉縞を走査し、干渉縞の明暗位置が異なる複数の干渉縞パターン70のいずれかを被測定物に投影する干渉縞投影器20と、干渉縞が投影される被測定物を撮像し、複数の撮像条件のそれぞれにて少なくとも三つの異なる干渉縞パターンに対応する複数の干渉縞画像を生成する撮像装置40と、複数の撮像条件ごとに撮像された複数の干渉縞画像の各画素の画素値に基づいて、いずれの撮像条件の干渉縞画像を用いて被測定物の位相分布画像を算出するかを画素ごとに選択する条件選択部と、条件選択部が画素ごとに選択した撮像条件に対応する複数の干渉縞画像の画素値に基づいて位相分布画像の画素ごとの位相を算出し、被測定物の三次元形状データを演算する形状演算部と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)