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1. (WO2017182081) METHOD FOR COATING A SUBSTRATE AND COATER
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Pub. No.: WO/2017/182081 International Application No.: PCT/EP2016/058896
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 21.04.2016
IPC:
C23C 14/34 (2006.01) ,C23C 14/35 (2006.01) ,H01J 37/34 (2006.01)
Applicants: PARK, Hyun Chan[KR/DE]; DE (US)
YIM, Dong-Kil[KR/US]; US (US)
MANKE, Georg[DE/DE]; DE (US)
GEBELE, Thomas[DE/DE]; DE (US)
APPLIED MATERIALS, INC.; 3050 Bowers Ave. Santa Clara, California 95054, US
Inventors: PARK, Hyun Chan; DE
YIM, Dong-Kil; US
MANKE, Georg; DE
GEBELE, Thomas; DE
Agent: ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Priority Data:
Title (EN) METHOD FOR COATING A SUBSTRATE AND COATER
(FR) PROCÉDÉ POUR REVÊTIR UN SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE REVÊTEMENT
Abstract: front page image
(EN) A method for coating a substrate (100) with at least one cathode assembly (10) having three or more rotatable targets (20), the three or more rotatable targets each comprising a magnet assembly (25) positioned there within, is provided. The method includes: rotating the magnet assemblies (25) to a plurality of different angular positions with respect to a plane (22) perpendicularly extending from the substrate (100) to an axis (21) of the respective one of the three or more rotatable targets (20); and varying at least one of: a power provided to the three or more rotatable targets (20), a staying time of the magnet assemblies (25), and an angular velocity of the magnet assemblies (25), which is varied continuously, according to a function stored in a database or a memory.
(FR) L'invention concerne un procédé pour revêtir un substrat (100) avec au moins un ensemble de cathode (10) comportant trois cibles rotatives (20) ou plus, les trois cibles rotatives ou plus comprenant chacune un ensemble d'aimants (25) positionné à l'intérieur de celles-ci. Le procédé consiste à faire tourner les ensembles d'aimants (25) vers une pluralité de positions angulaires différentes par rapport à un plan (22) s'étendant perpendiculairement à partir du substrat (100) jusqu'à un axe (21) de l'une des trois cibles rotatives (20) ou plus, respectivement; et à faire varier au moins l'un des éléments suivants : la puissance fournie aux trois cibles rotatives (20) ou plus, le temps de séjour des ensembles d'aimants (25) et la vitesse angulaire des ensembles d'aimants (25), ledit élément variant en continu selon une fonction stockée dans une base de données ou une mémoire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)