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1. (WO2017181456) METHOD FOR MANUFACTURING NANO-IMPRINT TEMPLATE AND NANO-IMPRINT TEMPLATE
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Pub. No.:    WO/2017/181456    International Application No.:    PCT/CN2016/081970
Publication Date: 26.10.2017 International Filing Date: 13.05.2016
IPC:
G03F 7/00 (2006.01)
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; NO.9-2, Tangming Road, Guangming District of Shenzhen, Guangdong 518132 (CN)
Inventors: CHEN, Lixuan; (CN).
LEE, Yungjui; (CN)
Agent: COMIPS INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE; Room 15E Shenkan Building,Shangbu Zhong Road Shenzhen, Guangdong 518028 (CN)
Priority Data:
201610255462.7 21.04.2016 CN
Title (EN) METHOD FOR MANUFACTURING NANO-IMPRINT TEMPLATE AND NANO-IMPRINT TEMPLATE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE GABARIT DE NANO-IMPRESSION, ET GABARIT DE NANO-IMPRESSION
(ZH) 纳米压印模板的制作方法及纳米压印模板
Abstract: front page image
(EN)Provided are a method for manufacturing a nano-imprint template and the nano-imprint template. The method for manufacturing the nano-imprint template comprises firstly coating a flexible membrane having a nanowire gate structure onto an outer circumference surface of a cylindrical rigid roller (1) to form a nanowire gate structure membrane layer (2), thereby obtaining an intermediate roller body, and then using a low melting point solder alloy to form a structure hardening layer (3) on the outer circumference surface of the intermediate roller body along the nanowire gate structure of the nanowire gate structure membrane layer (2), thereby obtaining the nano-imprint template having the nanowire gate structure. The formation of the rigid structure hardening layer (3) on the flexible nanowire gate structure hardens the flexible nanowire gate structure, thus overcoming the problem that the rigidity of the micro-structural material itself is insufficient during imprinting, so that roll-to-roll micro-structural imprinting, particularly nanowire gate imprinting, becomes feasible partially in the actual process, thus improving the manufacturing efficiency of wire gating polarizers.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un gabarit de nano-impression, et le gabarit de nano-impression. Le procédé de fabrication du gabarit de nano-impression consiste d'abord à recouvrir une membrane souple ayant une structure de grille de nanofil sur une surface de circonférence externe d'un rouleau rigide cylindrique (1) pour former une couche de membrane de structure de grille de nanofil (2), permettant ainsi d'obtenir un corps de rouleau intermédiaire, puis à utiliser un alliage de soudage à faible point de fusion pour former une couche de durcissement de structure (3) sur la surface de circonférence externe du corps de rouleau intermédiaire le long de la structure de grille de nanofil de la couche de membrane de structure de grille de nanofil (2), permettant ainsi d'obtenir le gabarit de nano-impression ayant la structure de grille de nanofil. La formation de la couche de durcissement de structure rigide (3) sur la structure de grille de nanofil souple durcit la structure de grille de nanofil souple, en surmontant ainsi le problème selon lequel la rigidité du matériau micro-structural lui-même est insuffisante pendant l'impression, de telle sorte qu'une impression micro-structurale rouleau à rouleau, en particulier une impression de grille de nanofil, devient partiellement réalisable dans le processus réel, améliorant ainsi l'efficacité de fabrication de polariseurs de grille de fil.
(ZH)一种纳米压印模板的制作方法及纳米压印模板。纳米压印模板的制作方法,先在圆柱状的硬质滚筒(1)的外圆周面上包覆一层软性的具有纳米线栅结构的膜片,形成纳米线栅结构膜层(2),得到中间筒体,然后利用低熔点焊料合金在所述中间筒体的外圆周面上沿所述纳米线栅结构膜层(2)的纳米线栅结构形成一层结构硬化层(3),得到具有纳米线栅结构的纳米压印模板;通过在软质的纳米线线栅结构上形成一层硬质的结构硬化层(3),对软质的纳米线栅结构进行硬化,从而克服在压印过程中微结构材质本身硬度不够的问题,使得卷对卷微结构压印,特别是纳米线栅压印成为实际工艺中可行的一部分,进而提高线栅偏光片的制作效率。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)