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1. (WO2017180441) PERMANENT-MAGNET PARTICLE BEAM APPARATUS AND METHOD INCORPORATING A NON-MAGNETIC METAL PORTION FOR TUNABILITY
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Pub. No.: WO/2017/180441 International Application No.: PCT/US2017/026438
Publication Date: 19.10.2017 International Filing Date: 06.04.2017
IPC:
H05H 7/04 (2006.01) ,H01F 1/057 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors: PLETTNER, Tomas; US
GERLING, John David; US
TAHMASSEBPUR, Mohammed; US
Agent: MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Priority Data:
15/429,07109.02.2017US
62/321,07711.04.2016US
Title (EN) PERMANENT-MAGNET PARTICLE BEAM APPARATUS AND METHOD INCORPORATING A NON-MAGNETIC METAL PORTION FOR TUNABILITY
(FR) APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES À AIMANT PERMANENT ET PROCÉDÉ COMPRENANT UNE PARTIE MÉTALLIQUE NON MAGNÉTIQUE POUR UNE ACCORDABILITÉ
Abstract: front page image
(EN) A permanent-magnet particle beam apparatus and method incorporating a non-magnetic portion for tunability are provided. The permanent-magnet particle beam apparatus includes a particle beam emitter that emits a charged particle beam, and includes a set of permanent magnets forming a magnetic field for controlling condensing of the charged particle beam. The permanent-magnet particle beam apparatus further includes a non-magnetic electrical conductor component situated with the set of permanent magnets to control a kinetic energy of the charged particle beam moving through the magnetic field.
(FR) L'invention concerne un appareil à faisceau de particules à aimant permanent et un procédé comprenant une partie non magnétique pour une accordabilité. L'appareil à faisceau de particules à aimant permanent comprend un émetteur de faisceau de particules qui émet un faisceau de particules chargées, et comprend un ensemble d'aimants permanents formant un champ magnétique pour commander la condensation du faisceau de particules chargées. L'appareil à faisceau de particules à aimant permanent comprend en outre un composant conducteur électrique non magnétique situé avec l'ensemble d'aimants permanents pour commander une énergie cinétique du faisceau de particules chargées se déplaçant à travers le champ magnétique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)