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1. (WO2017179381) METHOD FOR PRODUCING HERMETIC PACKAGE, AND HERMETIC PACKAGE
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Pub. No.: WO/2017/179381 International Application No.: PCT/JP2017/011489
Publication Date: 19.10.2017 International Filing Date: 22.03.2017
IPC:
H01L 23/10 (2006.01) ,H01L 33/48 (2010.01)
Applicants: NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.[JP/JP]; 7-1, Seiran 2-chome, Otsu-shi Shiga 5208639, JP
Inventors: SHIRAGAMI Toru; JP
OKA Takuji; JP
Priority Data:
2016-07864311.04.2016JP
Title (EN) METHOD FOR PRODUCING HERMETIC PACKAGE, AND HERMETIC PACKAGE
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN EMBALLAGE HERMÉTIQUE, ET EMBALLAGE HERMÉTIQUE
(JA) 気密パッケージの製造方法及び気密パッケージ
Abstract: front page image
(EN) This method for producing a hermetic package is characterized by comprising: a step for preparing an aluminum nitride base and forming a sintered glass-containing layer on the aluminum nitride base; a step for preparing a glass cover and forming a sealing material layer on the glass cover; a step for arranging the aluminum nitride base and the glass cover so that the sintered glass-containing layer and the sealing material layer are in contact with each other; and a step for obtaining a hermetic package by irradiating the sealing material layer with laser light from the glass cover side, thereby softening and deforming the sealing material layer and thus having the sintered glass-containing layer and the sealing material layer hermetically sealed with each other.
(FR) La présente invention concerne un procédé de production d'un emballage hermétique, caractérisé en ce qu'il comporte: une étape visant à préparer une base en nitrure d'aluminium et à former une couche contenant du verre fritté sur la base en nitrure d'aluminium; une étape visant à préparer un couvercle en verre et à former une couche de matériau d'étanchéité sur le couvercle en verre; une étape visant à disposer la base en nitrure d'aluminium et le couvercle en verre de telle sorte que la couche contenant du verre fritté et la couche de matériau d'étanchéité soient en contact mutuel; et une étape visant à obtenir un emballage hermétique en irradiant la couche de matériau d'étanchéité avec une lumière laser à partir du côté du couvercle en verre, ramollissant et déformant ainsi la couche de matériau d'étanchéité et rendant ainsi la couche contenant du verre fritté et la couche de matériau d'étanchéité hermétiquement scellées ensemble.
(JA) 本発明の気密パッケージの製造方法は、窒化アルミニウム基体を用意すると共に、窒化アルミニウム基体上に焼結ガラス含有層を形成する工程と、ガラス蓋を用意すると共に、ガラス蓋上に封着材料層を形成する工程と、焼結ガラス含有層と封着材料層が接触するように、窒化アルミニウム基体とガラス蓋を配置する工程と、ガラス蓋側から封着材料層に向けてレーザー光を照射し、封着材料層を軟化変形させることにより、焼結ガラス含有層と封着材料層を気密封着して、気密パッケージを得る工程と、を備えることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)