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1. (WO2017179145) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND SAMPLE HOLDER
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Pub. No.:    WO/2017/179145    International Application No.:    PCT/JP2016/061871
Publication Date: 19.10.2017 International Filing Date: 13.04.2016
IPC:
H01J 37/20 (2006.01), G01N 1/28 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: IKEUCHI Akira; (JP).
HANEDA Shigeru; (JP).
HOSHINO Yoshinobu; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025 (JP)
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND SAMPLE HOLDER
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PORTE-ÉCHANTILLON
(JA) 荷電粒子線装置および試料ホルダ
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a sample holder allowing an observation visual field to be explored readily. The sample holder has: a sample loading portion 137 comprising a first upper surface having formed thereon a countersink portion whereon a sample support member 115 having a positioning pattern is loaded thereby becoming positioned, and a rotation axis for horizontally rotating the first upper surface; a sample stage portion 141 comprising an opening in which the sample loading portion is allowed to rise and sink, and a second upper surface surrounding the opening; and a conductive sample cover portion 140 which, by being pressed downward in the direction of the second upper surface of the sample stage portion, brings the upper surface of the sample support member loaded on the sample loading portion to the same height as the second upper surface of the sample stage portion.
(FR)Le but de la présente invention est de fournir un porte-échantillon permettant d'explorer facilement un champ visuel d'observation. Le porte-échantillon comporte : une partie de chargement d'échantillon (137), comprenant une première surface supérieure sur laquelle est formée une partie fraisure sur laquelle un élément de support d'échantillon (115) comportant un motif de positionnement est chargé, devenant ainsi positionné, et un axe de rotation destiné à faire tourner horizontalement la première surface supérieure ; une partie platine porte-échantillon (141) comprenant une ouverture dans laquelle la partie de chargement d'échantillon peut s'élever et s'enfoncer, et une seconde surface supérieure entourant l'ouverture ; et une partie couvercle d'échantillon conductrice (140) qui, en étant appuyée vers le bas dans la direction de la seconde surface supérieure de la partie platine porte-échantillon, amène la surface supérieure de l'élément de support d'échantillon chargé sur la partie de chargement d'échantillon à la même hauteur que la seconde surface supérieure de la partie platine porte-échantillon.
(JA) 観察視野を容易に探索可能な試料ホルダを提供するために、位置合わせ用パターンを有する試料支持部材115を搭載することにより位置合わせされるザグリ部が形成された第1上面と第1上面を水平に回転させるための回転軸とを備えた試料搭載部137と、試料搭載部が上下動可能な開口部と開口部の周辺の第2上面とを備えた試料台部141と、導電性を有し試料台部の第2上面の方向へ押し下げることにより試料搭載部に搭載された試料支持部材の上面と試料台部の第2上面とが同じ高さとなる試料カバー部140と、を有する試料ホルダとする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)