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1. (WO2017178651) DEVICE FOR EXPOSURE OF A SUBSTRATE
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Pub. No.:    WO/2017/178651    International Application No.:    PCT/EP2017/059069
Publication Date: 19.10.2017 International Filing Date: 14.04.2017
Chapter 2 Demand Filed:    15.02.2018    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: IST METZ GMBH [DE/DE]; Lauterstrasse 18 72622 Nürtingen (DE)
Inventors: FUCHS, Günter; (DE)
Agent: PFIZ, Thomas; (DE).
GAUSS, Nikolai, Dr.; (DE).
WOLF, Eckhard, Dr.; (DE)
Priority Data:
10 2016 107 001.7 15.04.2016 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUR BELICHTUNG EINES SUBSTRATS
(EN) DEVICE FOR EXPOSURE OF A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF D’INSOLATION D’UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Belichtung eines Substrats (200) mit einer wenigstens einen Strahlungserzeuger (2) für elektromagnetische Strahlung umfassenden Belichtungseinheit und mit einer zumindest bereichsweise für die elektromagnetische Strahlung transparenten Maske (100) zur Übertragung einer in der Maske beinhalteten Struktur oder Information auf das Substrat. Hierbei wird vorgeschlagen, dass die Maske (100) über eine Aufnahme- und Haltevorrichtung (6) mit der Belichtungseinheit verbunden ist und daran durch Unterdruck gehalten ist, wobei die Maske über Abstützelemente (70, 80) in einer planen und zum Substrat (200) parallelen Ausrichtung abgestützt ist.
(EN)The invention relates to a device (1) for exposure of a substrate (200) having an exposure unit comprising at least one radiation generator (2) for electromagnetic radiation and having a mask (100), which is transparent to the electromagnetic radiation at least in regions, for transferring a structure or information contained in the mask to the substrate. According to the invention, the mask (100) is connected to the exposure unit by a receiving and holding device (6) and is held thereto by negative pressure, wherein the mask is supported by supporting elements (70, 80) in an orientation that is planar and parallel to the substrate (200).
(FR)L’invention concerne un dispositif (1) d’insolation d’un substrat (200), comprenant une unité d’insolation comportant au moins un générateur (2) d’un rayonnement électromagnétique, et un masque (100) transparent au moins par endroits au rayonnement électromagnétique aux fins de transmission d’une structure (100), contenant le masque, ou d’une information au substrat. L’invention propose que le masque (100) soit relié par un dispositif de réception et de retenue (6) à l’unité d’insolation puis soit maintenu par pression négative, le masque étant soutenu par des éléments d’appui (70, 80) dans une orientation plane et parallèle au substrat (200).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)