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1. (WO2017176419) VACUUM CHUCK PRESSURE CONTROL SYSTEM
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Pub. No.:    WO/2017/176419    International Application No.:    PCT/US2017/021564
Publication Date: 12.10.2017 International Filing Date: 09.03.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: IU, Dongming; (US).
BEHDJAT, Mehran; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; (US).
TACKETT, Keith M.; (US)
Priority Data:
62/320,108 08.04.2016 US
Title (EN) VACUUM CHUCK PRESSURE CONTROL SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE RÉGULATION DE PRESSION DE MANDRIN À VIDE
Abstract: front page image
(EN)Implementations described herein relate to pressure control for vacuum chuck substrate supports. In one implementation, a process chamber defines a process volume and a vacuum chuck support is disposed within the process volume. A pressure controller is disposed on a fluid flow path upstream from the vacuum chuck and a flow restrictor is disposed on the fluid flow path downstream from the vacuum chuck. Each of the pressure controller and flow restrictor are in fluid communication with a control volume of the vacuum chuck.
(FR)Selon certains modes de réalisation, l'invention concerne la régulation de la pression pour des supports de substrat de mandrin à vide. Selon un mode de réalisation, une chambre de traitement définit un volume de traitement et un support de mandrin à vide est disposé à l'intérieur du volume de traitement. Un régulateur de pression est disposé sur un trajet d'écoulement de fluide en amont du mandrin à vide et un limiteur de débit est disposé sur le trajet d'écoulement de fluide en aval du mandrin à vide. Chacun du régulateur de pression et du limiteur de débit est en communication fluidique avec un volume de commande du mandrin à vide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)