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1. (WO2017174545) PHOTOCURABLE POLYMERS, PHOTOCURABLE POLYMER COMPOSITIONS AND LITHOGRAPHIC PROCESSES INCLUDING THE SAME
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Pub. No.:    WO/2017/174545    International Application No.:    PCT/EP2017/057924
Publication Date: 12.10.2017 International Filing Date: 04.04.2017
IPC:
C08G 75/23 (2006.01), B29C 67/00 (2017.01)
Applicants: SOLVAY SPECIALTY POLYMERS USA, LLC [US/US]; 4500 McGinnis Ferry Road ALPHARETTA, Georgia 30005-3914 (US).
SOLVAY SA [BE/BE]; Rue de Ransbeek, 310 1120 Bruxelles (BE) (ST only)
Inventors: POLLINO, Joel; (US).
JEOL, Stéphane; (US)
Agent: FIORUCCI, Hélène; (BE)
Priority Data:
62/319,936 08.04.2016 US
Title (EN) PHOTOCURABLE POLYMERS, PHOTOCURABLE POLYMER COMPOSITIONS AND LITHOGRAPHIC PROCESSES INCLUDING THE SAME
(FR) POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES, COMPOSITIONS POLYMÈRES PHOTODURCISSABLES ET PROCÉDÉS LITHOGRAPHIQUES LES COMPRENANT
Abstract: front page image
(EN)Described herein are photocurable polymers that can be desirably used in photofabrication processes. Functionalized poly(aryl ether) ("PAE")polymers and photocurable polymer compositions including the functionalized PAE polymers are described that can be desirably incorporated into lithographic processes in which light is used to cure the functionalized PAE polymers. The functionalized PAE polymers are functionalized with a linking group. The linking group is a polymerizable group, a photoiniator group or a group that is reactive to oxiranes. The functionalized PAE polymer can be incorporated into a photocurable polymer composition that can optionallyinclude a photoinitiator. The photocurable polymer compositions can be desirably used in photofabrication methods.
(FR)L'invention concerne des polymères photodurcissables pouvant être avantageusement utilisés dans des procédés de photofabrication. Des polymères de poly(aryl éther) fonctionnalisé (« PAE ») et des compositions polymères photodurcissables comprenant les polymères PAE fonctionnalisés qui peuvent être avantageusement incorporés dans des procédés lithographiques dans lesquels la lumière est utilisée pour durcir les polymères PAE fonctionnalisés. Les polymères PAE fonctionnalisés sont fonctionnalisés à l’aide d’un groupe de liaison. Le groupe de liaison est un groupe polymérisable, un groupe photoiniateur ou un groupe qui réagit aux oxiranes. Le polymère PAE fonctionnalisé peut être incorporé dans une composition polymère photodurcissable qui peut éventuellement comprendre un photoinitiateur. Les compositions polymères photodurcissables peuvent être avantageusement utilisées dans des procédés de photofabrication.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)