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1. (WO2017172724) APPARATUS AND METHODS TO REMOVE RESIDUAL PRECURSOR INSIDE GAS LINES POST-DEPOSITION
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Pub. No.:    WO/2017/172724    International Application No.:    PCT/US2017/024482
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 28.03.2017
IPC:
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/18 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: YAO, Daping; (US).
CHOI, Kenric; (US).
YUAN, Xiaoxiong; (US).
LU, Jiang; (US).
XU, Can; (US).
MA, Paul F.; (US).
CHANG, Mei; (US)
Agent: BLANKMAN, Jeffrey I.; (US)
Priority Data:
62/313,976 28.03.2016 US
Title (EN) APPARATUS AND METHODS TO REMOVE RESIDUAL PRECURSOR INSIDE GAS LINES POST-DEPOSITION
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS D'ÉLIMINATION D'UN PRÉCURSEUR RÉSIDUEL À L'INTÉRIEUR DE CONDUITES DE GAZ APRÈS DÉPÔT
Abstract: front page image
(EN)Apparatus and methods for supplying a gas to a processing chamber are described. The apparatus comprises an inlet line and an outlet line, each with two valves, in fluid communication an ampoule. A bypass line connects the inlet valve and outlet valve closest to the ampoule. The apparatus and methods of use allow a precursor residue to be removed from the delivery lines of a processing chamber.
(FR)La présente invention concerne un appareil et des procédés permettant de fournir un gaz à une chambre de traitement. L'appareil comprend une conduite d'entrée et une conduite de sortie, chacune ayant deux soupapes, en communication fluidique avec une ampoule. Une conduite de dérivation relie la soupape d'entrée et la soupape de sortie la plus proche de l'ampoule. L'appareil et les procédés d'utilisation permettent de retirer un résidu de précurseur des conduites de distribution d'une chambre de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)