WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2017172627) ALL SURFACE FILM METROLOGY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2017/172627    International Application No.:    PCT/US2017/024332
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 27.03.2017
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: LI, Shifang; (US).
NICOLAIDES, Lena; (US).
HORN, Paul; (US).
GRAETZ, Richard; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Priority Data:
62/314,276 28.03.2016 US
15/255,605 02.09.2016 US
Title (EN) ALL SURFACE FILM METROLOGY SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MÉTROLOGIE DE TOUTE LA SURFACE D'UN FILM
Abstract: front page image
(EN)A system is configured to perform metrology on a front surface, a back surface opposite the front surface, and/or an edge between the front surface and the back surface of a wafer. This can provide all wafer metrology and/or metrology of thin films on the back surface of the wafer. In an example, the thickness and/or optical properties of a thin film on a back surface of a wafer can be determined using a ratio of a greyscale image of a bright field light emerging from the back surface of the wafer under test to that of a reference wafer.
(FR)L'invention concerne un système conçu pour procéder à la métrologie sur une surface avant, une surface arrière opposée à la surface avant, et/ou un bord entre la surface avant et la surface arrière d'une plaquette. Ceci permet de réaliser la métrologie de toute la plaquette et/ou la métrologie de films minces sur la surface arrière de la plaquette. Dans un exemple, l'épaisseur et/ou les propriétés optiques d'un film mince sur une surface arrière d'une plaquette peuvent être déterminées à l'aide d'un rapport d'une image en niveaux de gris d'une lumière de champ clair émergeant de la surface arrière de la plaquette en cours de test à celle d'une plaquette de référence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)