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1. (WO2017171874) PACKAGE-INTEGRATED PIEZOELECTRIC OPTICAL GRATING SWITCH ARRAY
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Pub. No.:    WO/2017/171874    International Application No.:    PCT/US2016/025728
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 01.04.2016
IPC:
G02B 6/35 (2006.01), G01L 1/16 (2006.01)
Applicants: INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: SOUNART, Thomas L.; (US).
BICEN, Baris; (US).
EID, Feras; (US).
OSTER, Sasha N.; (US).
ALEKSOV, Aleksandar; (US).
LIFF, Shawna M.; (US).
RAO, Valluri R.; (US).
SWAN, Johanna M.; (US)
Agent: BRASK, Justin, K.; (US)
Priority Data:
Title (EN) PACKAGE-INTEGRATED PIEZOELECTRIC OPTICAL GRATING SWITCH ARRAY
(FR) ENSEMBLE DE COMMUTATEURS DE RÉSEAU DE DIFFRACTION OPTIQUE PIÉZOÉLECTRIQUE INTÉGRÉ DANS UN BOÎTIER
Abstract: front page image
(EN)Embodiments of the invention include an optical grating switch integrated into an organic substrate and methods of forming such devices. According to an embodiment, the optical grating switch may include a cavity formed into an organic substrate. Additionally, the optical grating switch may include an array of moveable beams anchored to the organic substrate and suspended over the cavity. In an embodiment of the invention, each of the moveable beams in the optical grating switch may include a piezoelectric region formed over end portions of the moveable beam and a top electrode formed over a top surface of each of the piezoelectric regions. In order to reflect or diffract light, embodiments of the invention may include moveable beams that include a reflective surface formed over a central portion of the moveable beam.
(FR)Des modes de réalisation de l'invention comprennent un commutateur de réseau de diffraction optique intégré dans un substrat organique et des procédés de formation de tels dispositifs. Selon un mode de réalisation, le commutateur de réseau de diffraction optique peut comprendre une cavité formée dans un substrat organique. De plus, le commutateur de réseau de diffraction optique peut comprendre un ensemble de poutres mobiles ancrées au substrat organique et suspendues au-dessus de la cavité. Dans un mode de réalisation de l'invention, chacune des poutres mobiles dans le commutateur de réseau de diffraction optique peut comprendre une région piézoélectrique formée au-dessus de parties d'extrémité de la poutre mobile et une électrode supérieure formée sur une surface supérieure de chacune des régions piézoélectriques. Afin de réfléchir ou de diffracter la lumière, des modes de réalisation de l'invention peuvent comprendre des poutres mobiles qui comprennent une surface réfléchissante formée au-dessus d'une partie centrale de la poutre mobile.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)