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1. (WO2017171862) PIEZO ACTUATORS FOR OPTICAL BEAM STEERING APPLICATIONS
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Pub. No.:    WO/2017/171862    International Application No.:    PCT/US2016/025667
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 01.04.2016
IPC:
G02B 26/08 (2006.01), G02B 1/10 (2015.01), H01S 3/034 (2006.01)
Applicants: INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: ALEKSOV, Aleksandar; (US).
EID, Feras; (US).
OSTER, Sasha N.; (US).
LIFF, Shawna M.; (US).
SWAN, Johanna M.; (US).
SOUNART, Thomas L.; (US).
BICEN, Baris; (US).
RAO, Valluri; (US)
Agent: BRASK, Justin, K.; (US)
Priority Data:
Title (EN) PIEZO ACTUATORS FOR OPTICAL BEAM STEERING APPLICATIONS
(FR) ACTIONNEURS PIÉZOÉLECTRIQUES POUR DES APPLICATIONS D'ORIENTATION DE FAISCEAU OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)Embodiments of the invention include maskless imaging tools and display systems that include piezoelectrically actuated mirrors and methods of forming such devices. According to an embodiment, the maskless imaging tool may include a light source. Additionally, the tool may include one or more piezoelectrically actuated mirrors for receiving light from the light source. In an embodiment, the piezoelectrically actuated mirrors are actuatable about one or more axes to reflect the light from the light source to a workpiece positioned to receive light from the piezoelectrically actuated mirror. Additional embodiments of the invention may include a maskless imaging tool that is a laser direct imaging lithography (LDIL) tool. Other embodiments may include a maskless imaging tool that is a via-drill tool. Embodiments of the invention may also include a piezoelectrically actuated mirror used in a projection system. For example, the projection system may be integrated into a pair of glasses.
(FR)L'invention porte, dans des modes de réalisation, sur des outils d'imagerie sans masque et sur des systèmes d'affichage qui comprennent des miroirs à actionnement piézoélectrique ainsi que sur des procédés de formation de tels dispositifs. Selon un mode de réalisation, l'outil d'imagerie sans masque peut comprendre une source de lumière. De plus, l'outil peut comprendre un ou plusieurs miroirs à actionnement piézoélectrique destinés à recevoir de la lumière provenant de la source de lumière. Selon un mode de réalisation, les miroirs à actionnement piézoélectrique peuvent être actionnés autour d'un ou de plusieurs axes pour réfléchir la lumière provenant de la source de lumière vers une pièce à travailler positionnée de sorte à recevoir de la lumière provenant du miroir à actionnement piézoélectrique. Des modes de réalisation supplémentaires de l'invention peuvent comprendre un outil d'imagerie sans masque qui est un outil de lithographie par imagerie directe au laser (LDIL pour Laser Direct Imaging Lithography). D'autres modes de réalisation peuvent comprendre un outil d'imagerie sans masque qui est un outil de forage de trou d'interconnexion. Des modes de réalisation de l'invention peuvent également comprendre un miroir à actionnement piézoélectrique utilisé dans un système de projection. Par exemple, le système de projection peut être intégré dans une paire de lunettes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)