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1. (WO2017171848) FERROMAGNETIC RESONANCE TESTING OF BURIED MAGNETIC LAYERS OF WHOLE WAFER
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Pub. No.:    WO/2017/171848    International Application No.:    PCT/US2016/025624
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 01.04.2016
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 43/12 (2006.01), G01R 23/16 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01)
Applicants: INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: O'BRIEN, Kevin P.; (US).
OGUZ, Kaan; (US).
WIEGAND, Christopher J; (US).
DOCZY, Mark L.; (US).
DOYLE, Brian S.; (US).
RAHMAN, MD Tofizur; (US).
GOLONZKA, Oleg; (US).
GHANI, Tahir; (US)
Agent: MALONEY, Neil F.; (US)
Priority Data:
Title (EN) FERROMAGNETIC RESONANCE TESTING OF BURIED MAGNETIC LAYERS OF WHOLE WAFER
(FR) TEST DE RÉSONANCE FERROMAGNÉTIQUE DE COUCHES MAGNÉTIQUES NOYÉES D'UNE GALETTE ENTIÈRE
Abstract: front page image
(EN)Techniques are disclosed for carrying out ferromagnetic resonance (FMR) testing on whole wafers populated with one or more buried magnetic layers. The techniques can be used to verify or troubleshoot processes for forming the buried magnetic layers, without requiring the wafer to be broken. The techniques can also be used to distinguish one magnetic layer from others in the same stack, based on a unique frequency response of that layer. One example methodology includes moving a wafer proximate to a waveguide (within 500 microns, but without shorting), energizing a DC magnetic field near the target measurement point, applying an RF input signal through the waveguide, collecting resonance spectra of the frequency response of the waveguide, and decomposing the resonance spectra into magnetic properties of the target layer. One or both of the DC magnetic field and RF input signal can be swept to generate a robust set of resonance spectra.
(FR)L'invention concerne des techniques pour effectuer un test de résonance ferromagnétique (FMR) sur des galettes entières garnies d'une ou plusieurs couches magnétiques noyées. Les techniques peuvent être utilisées pour vérifier ou dépanner des processus de formation des couches magnétiques noyées sans qu'il soit nécessaire de casser la galette. Les techniques peuvent également être utilisées pour distinguer une couche magnétique des autres dans la même pile, en se basant sur une réponse en fréquence unique de cette couche. Un exemple de méthodologie comprend le déplacement d'une galette à proximité d'un guide d'ondes (à 500 microns, mais sans court-circuit), l'excitation d'un champ magnétique CC à proximité du point de mesure cible, l'application d'un signal d'entrée RF à travers le guide d'ondes, la collecte des spectres de résonance de la réponse en fréquence du guide d'ondes, et la décomposition des spectres de résonance en propriétés magnétiques de la couche cible. Un ou les deux parmi le champ magnétique CC et le signal d'entrée RF peuvent être balayés pour générer un ensemble robuste de spectres de résonance.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)