Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2017170558) PHASE CONTRAST TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2017/170558 International Application No.: PCT/JP2017/012654
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 28.03.2017
IPC:
H01J 37/295 (2006.01) ,H01J 37/26 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
295
Electron- or ion-diffraction tubes
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
Applicants:
大学共同利用機関法人自然科学研究機構 INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES [JP/JP]; 東京都三鷹市大沢二丁目21番1号 2-21-1, Osawa, Mitaka-shi, Tokyo 1818588, JP
Inventors:
永谷 幸則 NAGATANI Yukinori; JP
Agent:
佐々木 孝 SASAKI Ko; JP
Priority Data:
2016-06963830.03.2016JP
Title (EN) PHASE CONTRAST TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DU TYPE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À TRANSMISSION DE CONTRASTE DE PHASE
(JA) 位相差透過電子顕微鏡装置
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a phase contrast transmission electron microscope equipped with a long-life phase modulating means which does not absorb the electron beam and is not affected by the irradiation of the electron beam, and in which it is possible to vary the phase modulation amount of the electron beam. [Solution] An electron microscope 10 is equipped with: an electron gun; a first laser irradiation process which is provided between the electron beam source and an objective lens and irradiates the electron beam emitted from the electron beam source with a laser; a second laser irradiation process which is provided upon the focal plane behind the objective lens and converges a laser upon the focal point of the electron beam passing through a sample while irradiating the beam with the laser; and a screen or two-dimensional electron beam sensor which detects a sample image as the intensity distribution of the electron beam by means of an image forming optical system.
(FR) [Problème] L'objet de la présente invention est de fournir un microscope électronique à transmission de contraste de phase équipé d'un moyen de modulation de phase à longue durée de vie qui n'absorbe pas le faisceau d'électrons et n'est pas affecté par l'irradiation du faisceau d'électrons, et dans lequel il est possible de faire varier la quantité de modulation de phase du faisceau d'électrons. [Solution] Un microscope électronique (10) est équipé : d'un canon à électrons; d'un premier processus d'irradiation laser qui est disposé entre la source de faisceau d'électrons et une lentille d'objectif et irradie le faisceau d'électrons émis par la source de faisceau d'électrons avec un laser; d'un second processus d'irradiation laser qui est disposé sur le plan focal derrière la lentille d'objectif et fait converger un laser sur le point focal du faisceau d'électrons traversant un échantillon tout en irradiant le faisceau avec le laser; et d'un écran ou d'un capteur de faisceau d'électrons bidimensionnel qui détecte une image d'échantillon en tant que distribution d'intensité du faisceau d'électrons au moyen d'un système optique de formation d'image.
(JA) 【課題】 電子線の位相変調量が可変で、電子線を吸収せず、かつ、電子線の照射に影響されない長寿命な位相変調手段を備えた位相差透過電子顕微鏡を提供する。 【解決手段】 電子顕微鏡10は、電子銃と、前記電子線源と対物レンズの間に配置され、前記電子線源から放射された電子線に対してレーザーを照射する第一のレーザー照射過程と、前記対物レンズの背後の焦点面上に配置され、試料を透過した電子線の焦点にレーザーを収束して照射する第二のレーザー照射過程と、結像光学系により試料像を電子線の強度分布として検出するスクリーンもしくは2次元電子線センサとを備える。
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)