WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2017170554) PHASE-DIFFERENCE SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.:    WO/2017/170554    International Application No.:    PCT/JP2017/012647
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 28.03.2017
Chapter 2 Demand Filed:    07.12.2017    
IPC:
H01J 37/295 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES [JP/JP]; 2-21-1, Osawa, Mitaka-shi, Tokyo 1818588 (JP)
Inventors: NAGATANI Yukinori; (JP)
Agent: SASAKI Ko; (JP)
Priority Data:
2016-068958 30.03.2016 JP
Title (EN) PHASE-DIFFERENCE SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE EN TRANSMISSION À DIFFÉRENCE DE PHASE
(JA) 位相差走査透過電子顕微鏡装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a phase-difference scanning transmission electron microscope that has excellent operatability and that is capable of imaging the phase change of a sample with desired contrast while minimizing the electron beam exposure of the sample. [Solution] This phase-difference scanning transmission electron microscope is provided with: an electron gun 31; an irradiation optical system 32; a scan coil 33; a convergence optical system 34; an objective lens 35; and a bright field detector 36 that detects the intensity of an electron beam. A Fresnel zone plate 40 is arranged on the upstream side of a STEM focal plane such that the focus thereof is set on the STEM focal plane. Thus, electron beams including a reference wave and a main probe wave from the plate irradiate a sample object 50 placed between the convergence optical system 34 and the objective lens 35.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à un microscope électronique à balayage en transmission (STEM) à différence de phase qui présente une excellente aptitude au fonctionnement et qui permet l'imagerie du changement de phase d'un échantillon avec un contraste souhaité tout en réduisant au minimum l'exposition de l'échantillon au faisceau d'électrons. La solution de l'invention porte sur un microscope électronique à balayage en transmission à différence de phase qui comporte : un canon à électrons (31) ; un système optique d'émission (32) ; une bobine de balayage (33) ; un système optique de convergence (34) ; une lentille de focalisation (35) ; et un détecteur en fond clair (36) qui détecte l'intensité d'un faisceau d'électrons. Une plaque à zone de Fresnel (40) est agencée côté amont d'un plan focal du STEM de manière que son foyer soit placé sur le plan focal du STEM. Ainsi, des faisceaux d'électrons comprenant une onde de référence et une onde de sonde principale provenant de la plaque sont incidents sur un objet échantillon (50) placé entre le système optique de convergence (34) et la lentille de focalisation (35).
(JA)【課題】 試料の電子線被曝を最小化し、所望のコントラストで試料の相変化を画像化可能な、取扱性に優れた位相差走査透過電子顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 位相差走査透過電子顕微鏡装置は、電子銃31、照射光学系32、スキャンコイル33、収束光学系34、対物レンズ35、電子線の強度を検出する明視野検出器36を備えており、STEM焦点面より上流側において、フレネル・ゾーン・プレート40が、その焦点がSTEM焦点面に来る様に配置されており、これにより、当該プレートからの主プローブ波と参照波を含む電子線が、収束光学系34と対物レンズ35との間に置かれた試料物体50上に照射する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)