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1. (WO2017170553) LASER PROCESSING DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/170553 International Application No.: PCT/JP2017/012645
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 28.03.2017
IPC:
B23K 26/064 (2014.01) ,B23K 26/00 (2014.01)
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.[JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventors: OKUMA Junji; JP
NAGAO Mitsuhiro; JP
FUKUCHI Norihiro; JP
IGASAKI Yasunori; JP
Agent: HASEGAWA Yoshiki; JP
KUROKI Yoshiki; JP
SHIBAYAMA Kenichi; JP
Priority Data:
2016-07442601.04.2016JP
Title (EN) LASER PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU LASER
(JA) レーザ加工装置
Abstract: front page image
(EN) A laser processing device which subjects a target object to laser processing by radiating laser light onto the target object is provided with: a laser output unit which outputs the laser light; a spatial optical modulator which reflects the laser light output from the laser output unit, while modulating the laser light in accordance with a phase pattern; and an objective lens which condenses the laser light from the spatial optical modulator toward the target object. The spatial optical modulator includes: a surface of incidence upon which the laser light is incident; a reflecting surface which reflects the laser light that has entered from the surface of incidence, toward the surface of incidence; and a modulation layer which is disposed between the surface of incidence and the reflecting surface and which modulates the laser light by displaying the phase pattern. A dielectric multilayer film having high reflectance regions in a plurality of mutually discontinuous wavelength bands is formed on the reflecting surface.
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement au laser qui soumet un objet cible à un traitement au laser en irradiant de la lumière laser sur l'objet cible. Le dispositif comprend : une unité de sortie laser qui délivre en sortie la lumière laser ; un modulateur optique spatial qui réfléchit la lumière laser sortie par l'unité de sortie laser, tout en modulant la lumière laser conformément à un motif de phase ; et une lentille d'objectif qui condense la lumière laser depuis le modulateur optique spatial vers l'objet cible. Le modulateur optique spatial comprend : une surface d'incidence sur laquelle la lumière laser est incidente ; une surface réfléchissante qui réfléchit la lumière laser qui est entrée depuis la surface d'incidence, vers la surface d'incidence ; et une couche de modulation qui est disposée entre la surface d'incidence et la surface réfléchissante et qui module la lumière laser en affichant le motif de phase. Un film diélectrique à couches multiples ayant des régions à facteur de réflexion élevé dans une pluralité de bandes de longueurs d'ondes mutuellement discontinues est formé sur la surface réfléchissante.
(JA) レーザ光を対象物に照射して前記対象物のレーザ加工を行うレーザ加工装置であって、前記レーザ光を出力するレーザ出力部と、前記レーザ出力部から出力された前記レーザ光を位相パターンに応じて変調しつつ反射する空間光変調器と、前記空間光変調器からの前記レーザ光を前記対象物に向けて集光する対物レンズと、を備え、前記空間光変調器は、前記レーザ光が入射する入射面と、前記入射面から入射した前記レーザ光を前記入射面に向けて反射する反射面と、前記入射面と前記反射面との間に配置され、前記位相パターンを表示して前記レーザ光を変調する変調層と、を有し、前記反射面には、互いに連続しない複数の波長帯に高反射率領域を有する誘電体多層膜が形成されている、レーザ加工装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)