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1. (WO2017170457) PRESSURE SENSOR
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Pub. No.:    WO/2017/170457    International Application No.:    PCT/JP2017/012493
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 27.03.2017
Chapter 2 Demand Filed:    23.08.2017    
IPC:
H04R 19/04 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577 (JP)
Inventors: TANAKA Shuji; (JP).
JOERG Froemel; (JP)
Agent: HIRAYAMA Kazuyuki; (JP)
Priority Data:
2016-064779 28.03.2016 JP
Title (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) DÉTECTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
Abstract: front page image
(EN)Provided is a pressure sensor having high-performance characteristics. The pressure sensor 100 is provided with: one or more diaphragms 104; an opposing electrode 105 disposed so as to oppose the diaphragms 104; an input circuit 106a which, in response to a vibration signal of the diaphragms 104, converts a capacitance between the diaphragms 104 and the opposing electrode 105 into a voltage, current, or frequency signal; and a signal processing circuit 107 which performs analog processing and/or digital processing with respect to a signal from the input circuit 106a. The diaphragms 104 and the input circuit 106a are disposed on a first die 102, and the signal processing circuit 107 is disposed on a second die 103, the first die 102 and the second die 103 being connected by wiring.
(FR)L'invention concerne un détecteur de pression présentant des caractéristiques de haute performance. Le détecteur de pression comprend : une ou plusieurs membranes ; une électrode opposée disposée de manière à s'opposer aux membranes ; un circuit d'entrée (106a) qui, en réponse à un signal de vibration des diaphragmes (104), convertit une capacité entre les diaphragmes (104) et l'électrode opposée (105) en un signal de tension, de courant ou de fréquence ; et un circuit de traitement de signal (107) qui effectue un traitement analogique et/ou un traitement numérique par rapport à un signal provenant du circuit d'entrée (106a). Les diaphragmes (104) et le circuit d'entrée (106a) sont disposés sur une première matrice (102), et le circuit de traitement de signal (107) est disposé sur une seconde puce (103), la première matrice (102) et la seconde puce (103) étant connectées par câblage.
(JA)高性能な特性を有する圧力センサを提供する。圧力センサ100が、一つ以上のダイヤフラム104と、ダイヤフラム104と対向するように設けられた対向電極105と、ダイヤフラム104の振動信号を受け、ダイヤフラム104と対向電極105との静電容量を電圧、電流、周波数の何れかの信号に変換する入力回路106aと、入力回路106aからの信号に対しアナログ処理、デジタル処理の何れか又は双方をする信号処理回路107と、を備え、ダイヤフラム104と入力回路106aとが第1のダイ102に設けられ、信号処理回路107が第2のダイ103に設けられ、第1のダイ102と第2のダイ103とが配線で接続されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)