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1. (WO2017170393) PROBER AND PROBER OPERATION METHOD
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Pub. No.:    WO/2017/170393    International Application No.:    PCT/JP2017/012377
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 27.03.2017
Chapter 2 Demand Filed:    26.10.2017    
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. [JP/JP]; 2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928515 (JP)
Inventors: MORI, Toshiro; (JP).
NISHIDA, Tomoya; (JP)
Agent: MATSUURA, Kenzo; (JP)
Priority Data:
2016-063845 28.03.2016 JP
2016-063846 28.03.2016 JP
Title (EN) PROBER AND PROBER OPERATION METHOD
(FR) SONDEUR ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DE SONDEUR
(JA) プローバ及びプローバの操作方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a prober and a prober operation method for preventing collision between a probe and a probe position detection camera. The prober 10 for performing inspection by causing a probe 25 to contact an electrode of a wafer W is provided with: a probe position detection camera 18 which detects a tip-end position of the probe 25 for relative positioning of the electrode of the wafer W and the probe 25; a probe height detector 20 which is provided separately from the probe position detection camera 18 and which detects the height of a tip-end of the probe from a reference surface serving as a reference for the height of the probe position detection camera 18; and a first height adjustment mechanism 21 which changes the height of the probe position detection camera 18 from the reference surface on the basis of the result of detection by the probe height detector 20.
(FR)L'invention concerne un sondeur et un procédé de fonctionnement de sondeur permettant d'empêcher une collision entre une sonde et une caméra de détection de position de sonde. Le sondeur 10 permettant d'effectuer une inspection en amenant une sonde 25 à entrer en contact avec une électrode d'une tranche W est pourvu : d'une caméra de détection de position de sonde 18 qui détecte une position d'extrémité de pointe de la sonde 25 pour un positionnement relatif de l'électrode de la tranche W et de la sonde 25 ; d'un détecteur de hauteur de sonde 20 qui est disposé séparément de la caméra de détection de position de sonde 18 et qui détecte la hauteur d'une extrémité de pointe de la sonde à partir d'une surface de référence servant de référence pour la hauteur de la caméra de détection de position de sonde 18 ; et d'un premier mécanisme de réglage de hauteur 21 qui modifie la hauteur de la caméra de détection de position de sonde 18 à partir de la surface de référence sur la base du résultat de la détection par le détecteur de hauteur de sonde 20.
(JA)プローブとプローブ位置検出カメラとの衝突を防止するプローバ及びプローバの操作方法を提供する。プローバ10は、ウエハWの電極にプローブ25を接触させて検査を行うプローバ10であって、ウエハWの電極とプローブ25との相対的な位置合わせを行うためにプローブ25の先端位置を検出するプローブ位置検出カメラ18と、プローブ位置検出カメラ18とは別に設けられ、プローブ位置検出カメラ18の高さの基準となる基準面からのプローブの先端の高さを検出するプローブ高さ検出器20と、プローブ高さ検出器20の検出結果に基づいて、基準面からのプローブ位置検出カメラ18の高さを変化させる第1高さ調整機構21と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)