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1. (WO2017169732) MEASUREMENT DEVICE AND MEASUREMENT METHOD
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Pub. No.: WO/2017/169732 International Application No.: PCT/JP2017/010149
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 14.03.2017
IPC:
G01C 3/06 (2006.01) ,G01N 21/17 (2006.01) ,G01N 21/27 (2006.01) ,G01N 21/49 (2006.01)
Applicants: OLYMPUS CORPORATION[JP/JP]; 2951, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928507, JP
Inventors: MURAKAMI, Miyuki; JP
Agent: SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
Priority Data:
2016-06472528.03.2016JP
Title (EN) MEASUREMENT DEVICE AND MEASUREMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE MESURE
(JA) 計測装置及び計測方法
Abstract: front page image
(EN) The measurement device according to the present invention is provided with: a light source unit for projecting pulsed light or light periodically modulated in intensity to a measurement object, the light source unit being disposed with a gas layer or a vacuum layer interposed between the measurement object and the light source unit; a light receiving unit for receiving backscattered light backscattered by the measurement object from the light projected by the light source unit, the light receiving unit being disposed with the gas layer or the vacuum layer interposed between the measurement object and the light receiving unit; and a TOF measurement unit for measuring TOF information of the backscattered light received by the light receiving unit. A measurement device is thereby provided whereby the measurement object can be measured using TOF estimation without contact with the measurement object by the light source unit or the light receiving unit.
(FR) Le dispositif de mesure selon la présente invention comprend : une unité de source de lumière permettant de projeter une lumière pulsée ou une lumière périodiquement modulée en intensité sur un objet de mesure, l'unité de source de lumière étant placée avec une couche de gaz ou une couche de vide interposée entre l'objet de mesure et l'unité de source de lumière ; une unité de réception de lumière permettant de recevoir la lumière rétrodiffusée qui est rétrodiffusée par l'objet de mesure à partir de la lumière projetée par l'unité de source de lumière, l'unité de réception de lumière étant placée avec la couche de gaz ou la couche de vide interposée entre l'objet de mesure et l'unité de réception de lumière ; et une unité de mesure de temps de vol (TOF) permettant de mesurer des informations de TOF de la lumière rétrodiffusée reçue par l'unité de réception de lumière. Un dispositif de mesure est ainsi fourni, grâce auquel l'objet de mesure peut être mesuré à l'aide d'une estimation de TOF sans contact avec l'objet de mesure par l'unité de source de lumière ou l'unité de réception de lumière.
(JA) 計測装置は、計測物に対して気体層又は真空層を介して配置されており、前記計測物に対してパルス光又は周期的に強度を変調させた光を投光する光源部と、前記計測物に対して前記気体層又は前記真空層を介して配置されており、前記光源部が投光した光の前記計測物における後方散乱光を受光する受光部と、前記光源部が投光した光と、前記受光部が受光した前記後方散乱光とのTOF情報を計測するTOF計測部と、を備える。これにより、光源部及び受光部を計測物に接触させずに、TOF測定を用いて計測物を計測することができる計測装置を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)