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1. (WO2017169404) WORKPIECE TRANSPORTING DEVICE, LIGHT IRRADIATION DEVICE, WORKPIECE TRANSPORTING METHOD, AND LIGHT IRRADIATION METHOD
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Pub. No.:    WO/2017/169404    International Application No.:    PCT/JP2017/007247
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 24.02.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), B23Q 1/25 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G05D 3/12 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
Inventors: NOMOTO Kentaro; (JP).
TARUMI Noriyasu; (JP)
Agent: HOTATE Koichi; (JP)
Priority Data:
2016-073277 31.03.2016 JP
Title (EN) WORKPIECE TRANSPORTING DEVICE, LIGHT IRRADIATION DEVICE, WORKPIECE TRANSPORTING METHOD, AND LIGHT IRRADIATION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE PIÈCE, DISPOSITIF DE RAYONNEMENT DE LUMIÈRE, PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE PIÈCE, ET PROCÉDÉ DE RAYONNEMENT DE LUMIÈRE
(JA) ワーク搬送装置、光照射装置、ワーク搬送方法及び光照射方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a workpiece transporting device with which it is possible to repeat transportation and stopping with high precision of the stop position, which does not compromise productivity. [Solution] A stage 3 is disposed on a base plate 2 that is disposed on an anti-vibration table 1 with anti-vibration elastic bodies 13, 14 interposed between the base plate 2 and the anti-vibration table 1, and a workpiece W on the stage 3 is transported by a moving mechanism 4 moving the stage 3. In a moving speed sequence for the stage, implemented in a control unit 5, acceleration and deceleration periods are periods with which the first peak of the vibration of the base plate 2 due to the driving reaction torque after the end of the acceleration or deceleration section is less than or equal to half the maximum value in relation to the natural vibration period of the anti-vibration elastic bodies 13, 14.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de transport de pièce au moyen duquel il est possible de répéter le transport et l'arrêt avec une grande précision de la position d'arrêt, ce qui ne compromet pas la productivité. La solution selon l'invention porte sur un étage 3 qui est disposé sur une plaque de base 2 qui est disposée sur une table anti-vibrations 1 dotée de corps élastiques anti-vibrations 13, 14 intercalés entre la plaque de base 2 et la table anti-vibrations 1, et une pièce W sur l'étage 3 est transportée par un mécanisme mobile 4 déplaçant l'étage 3. Dans une séquence de vitesse de déplacement pour l'étage, mise en œuvre dans une unité de commande 5, les périodes d'accélération et de décélération sont des périodes grâce auxquelles le premier pic de la vibration de la plaque de base 2 en raison du couple de réaction d'entraînement après l'extrémité de la section d'accélération ou de décélération est inférieur ou égal à la moitié de la valeur maximale par rapport à la période naturelle de vibration des corps élastiques anti-vibrations 13, 14.
(JA)【課題】 高い停止位置精度で搬送と停止を繰り返すことができ、生産性を悪化させることのないワーク搬送装置を提供する。 【解決手段】 防振用弾性体13,14を介して防振台1上に配置されたベース盤2の上にステージ3が配置され、ステージ3を移動機構4が移動させることでステージ3上のワークWが搬送される。制御部5に実装されたステージの移動速度のシーケンスにおいて、加速時間及び減速時間は、加減速部の終了後の駆動反力によるベース盤2の振動の最初のピークが防振用弾性体13,14の固有振動周期との関係において最大値の半分以下となる時間である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)