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1. (WO2017168909) DEPOSIT AMOUNT MEASURING DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/168909 International Application No.: PCT/JP2017/000002
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 04.01.2017
IPC:
G01N 21/94 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
94
Investigating contamination, e.g. dust
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD.[JP/JP]; Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028, JP
Inventors: INAKA, Chisa; JP
KITA, Yuki; JP
TOMOEDA, Satoshi; JP
Priority Data:
2016-06621629.03.2016JP
Title (EN) DEPOSIT AMOUNT MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE QUANTITÉ DE DÉPÔT
(JA) 付着物量の測定装置
Abstract:
(EN) Provided is a device capable of obtaining a highly accurate measurement result without requiring a complicated operation process, etc., even when the deposit amounts of matters deposited in an inspection target region greatly differ from one another. Specifically, the deposit amount measuring device measures the deposit amounts of deposits deposited in an inspection target region, and is characterized by comprising: a light source that irradiates the inspection target region with light energy; a detection unit that detects released energy released from the deposits deposited in the inspection target region; a detection condition switching unit that switches a condition for detecting light energy/released energy; a storage unit that stores related information for use in measurement of deposit amounts; and a deposit amount calculating unit that calculates a first region deposit amount and a second region deposit amount on the basis of images detected by the detection unit under different detection conditions, and calculates a deposit amount by adding the second region deposit amount to the first region deposit amount.
(FR) La présente invention concerne un dispositif apte à obtenir un résultat de mesure hautement précis sans nécessiter un processus de fonctionnement complexe etc., même lorsque les quantités de dépôt de matières déposées dans une région cible d'inspection diffèrent considérablement les unes des autres. Plus précisément, le dispositif de mesure de quantité de dépôt mesure les quantités de dépôt de dépôts déposés dans une région cible d'inspection, et est caractérisé en ce qu'il comprend : une source de lumière qui éclaire la région cible d'inspection au moyen d'une énergie lumineuse ; une unité de détection qui détecte l'énergie libérée qui est libérée par les dépôts déposés dans la région cible d'inspection ; une unité de commutation de condition de détection qui commute une condition de manière à détecter l'énergie lumineuse/l'énergie libérée ; une unité de stockage qui stocke des informations associées destinées à être utilisées dans la mesure de quantités de dépôt ; et une unité de calcul de quantité de dépôt qui calcule une première quantité de dépôt de région et une seconde quantité de dépôt de région sur la base d'images détectées par l'unité de détection sous différentes conditions de détection, et calcule une quantité de dépôt en ajoutant la seconde quantité de dépôt de région à la première quantité de dépôt de région.
(JA) 複雑な演算処理等を必要とせず、検査対象領域に付着した物質の付着物量が大きく異なる状態で混在していても、精度の高い測定結果を得ることができる装置を提供すること。 具体的には、検査対象領域に付着した付着物の付着物量を測定する装置であって、 検査対象領域に向けて光エネルギーを照射する光源と、 検査対象領域に付着した付着物から放出する放出エネルギーを検出する検出部と、 光エネルギー/放出エネルギーの検出条件を切り換える検出条件切換部と、 付着物量の測定に用いる関係情報を記憶しておく記憶部と、 検出部で検出した異なる検出条件の画像に基づいて、第1領域付着物量と第2領域付着物量を算出し、第1領域付着物量に第2領域付着物量を加えて付着物量の算出を行う、付着物量算出部を備えたことを特徴とする、付着物量の測定装置である。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)