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Pub. No.: WO/2017/168554 International Application No.: PCT/JP2016/060089
Publication Date: 05.10.2017 International Filing Date: 29.03.2016
H01J 37/073 (2006.01)
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
Electron sources; Electron guns
Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
大嶋 卓 OHSHIMA Takashi; JP
峯邑 浩行 MINEMURA Hiroyuki; JP
安齋 由美子 ANZAI Yumiko; JP
圓山 百代 ENYAMA Momoyo; JP
小瀬 洋一 OSE Yoichi; JP
揚村 寿英 AGEMURA Toshihide; JP
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Priority Data:
(JA) 電子顕微鏡
(EN) In order to provide an electron microscope that can easily and quickly switch among annular illumination, wide area illumination, a desired interference pattern, and normal illumination, or attain an excellent S/N ratio, provided is an electron microscope that comprises the following: a photocathode 101 that uses negative electron affinity; an excitation optical system for exciting the photocathode; and an electron optical system for radiating, onto a sample, an electron beam 13 generated from the photocathode using excitation light 12 radiated via the excitation optical system. The excitation optical system includes a light source device 107 for emitting excitation light, and a light modulation means 108 that is disposed in the optical path of the excitation light and that performs spatial phase modulation on the excitation light.
(FR) L'invention concerne un microscope électronique qui peut facilement et rapidement commuter entre un éclairage annulaire, un éclairage de zone étendue, un motif d'interférence souhaité et un éclairage normal, ou obtenir un excellent rapport S/N, et qui comprend : une photo-cathode (101) qui utilise une affinité électronique négative ; un système optique d'excitation destiné à exciter la photo-cathode ; un système optique électronique destiné à rayonner, sur un échantillon, un faisceau d'électrons (13) généré par la photo-cathode à l'aide d'une lumière d'excitation (12) rayonnée par l'intermédiaire du système optique d'excitation. Le système optique d'excitation comprend un dispositif de source lumineuse (107) destiné à émettre une lumière d'excitation, et un moyen de modulation de lumière (108) qui est disposé dans le trajet optique de la lumière d'excitation et qui effectue une modulation de phase spatiale sur la lumière d'excitation.
(JA) 輪帯照明や広域照射、所望の干渉パターンと、通常照明との切り替えが迅速で容易に行える、あるいは良好なS/Nが得られる電子顕微鏡を提供するために、負の電子親和力を利用したフォトカソード101と、フォトカソードを励起するための励起光学系と、励起光学系を介して照射された励起光12によりフォトカソードから発生した電子線13を試料に照射するための電子光学系とを有し、励起光学系は、励起光の光源装置107と、励起光の光路中に配置され励起光に対して空間位相変調を行う光変調手段108とを含む電子顕微鏡とする。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)