(EN) This substrate supply unit is provided with: a body part (110) that is composed of a plurality of decks (42, 44, 46) on three or more levels provided at different positions in a height direction, said decks each accommodating a plurality of substrate accommodating bodies (90) which are arranged in a depth direction which is orthogonal to the height direction; an elevator part (120) that is disposed adjacent to one side of the body part (110) in the depth direction and moves the substrate accommodating bodies (90) up and down in the height direction so as to supply the substrate accommodating bodies (90) to any of the decks; and a substrate transport part (130) that is disposed adjacent to the other side of the body part (110) in the depth direction, wherein the substrate accommodating bodies are taken out of the decks into said substrate transport part (130), which transports the substrates accommodated by the substrate accommodating bodies to a transport lane (30) for bonding. This makes it possible to provide a compact configuration and improve the degree of freedom of processing modes.
(FR) Cette unité d'alimentation en substrat comporte : une partie de corps (110) qui est composée d'une pluralité de ponts (42, 44, 46) sur trois niveaux ou plus disposés à différentes positions dans le sens de la hauteur, lesdits ponts recevant chacun une pluralité de corps de réception de substrat (90) qui sont agencés dans le sens de la profondeur qui est orthogonal au sens de la hauteur ; une partie d'ascenseur (120) qui est disposée adjacente à un côté de la partie de corps (110) dans le sens de la profondeur et qui monte et descend les corps de réception de substrat (90) dans le sens de la hauteur de manière à fournir les corps de réception de substrat (90) à n'importe lequel des ponts ; et une partie de transport de substrat (130) qui est disposée adjacente à l'autre côté de la partie de corps (110) dans le sens de la profondeur, les corps de réception de substrat étant retirés des ponts vers ladite partie de transport de substrat (130), qui transporte les substrats logés dans les corps de réception de substrat vers une voie de transport (30) en vue d'une liaison. Cela permet d'obtenir une configuration compacte et d'améliorer le degré de liberté des modes de traitement.
(JA) 基板供給ユニットは、高さ方向のそれぞれ異なる位置に設けられた3階層以上の複数のデッキ(42,44,46)から構成され、各デッキが高さ方向に直交する奥行方向に配列される複数の基板収容体(90)を収容する、本体部(110)と、本体部(110)における奥行方向の一方側に隣接して配置され、いずれかのデッキに基板収容体(90)を供給するように基板収容体(90)を高さ方向に上下に移動させるエレベータ部(120)と、本体部(110)における奥行方向の他方側に隣接して配置され、いずれかのデッキから基板収容体を取り出し、かつ、基板収容体に収容される基板をボンディング用搬送レーン(30)へ搬送する基板搬送部(130)とを備える。これにより、コンパクトな構成を備えるとともに処理態様の自由度を向上することができる。