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1. (WO2017156842) SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING MASK PATTERNS AND EXPLOSURE SYSTEM
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Pub. No.: WO/2017/156842 International Application No.: PCT/CN2016/081258
Publication Date: 21.09.2017 International Filing Date: 06.05.2016
IPC:
G03F 1/76 (2012.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
[IPC code unknown for G03F 1/76][IPC code unknown for G03F 7/20]
Applicants:
京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 朝阳区酒仙桥路10号 No.10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015, CN
Inventors:
李太亮 LI, Tailiang; CN
孙俊民 SUN, Junmin; CN
丁洪利 DING, Hongli; CN
关红涛 GUAN, Hongtao; CN
Agent:
中科专利商标代理有限责任公司 CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; 中国北京市 海淀区西三环北路87号4-1105室 Suite 4-1105, No. 87, West 3rd Ring North Rd. Haidian District Beijing 100089, CN
Priority Data:
201610158206.618.03.2016CN
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING MASK PATTERNS AND EXPLOSURE SYSTEM
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MOTIFS DE MASQUE, ET SYSTÈME D'EXPOSITION
(ZH) 产生掩膜图案的系统和方法以及曝光系统
Abstract:
(EN) Disclosed are a system for generating mask patterns, a method for generating mask patterns and an exposure system, wherein the system for generating mask patterns comprises mask pattern providing equipment (101), mask pattern transmitting equipment (102) and mask pattern generating equipment (103), wherein the mask pattern providing equipment (101) is configured to provide mask pattern signals through a wired or wireless network; the mask pattern transmitting equipment (102) is configured to process the mask pattern signals provided by the mask pattern providing equipment (101) so as to generate mask pattern information and transmit the generated mask pattern information through radio frequency identification (RFID) signals; and the mask pattern generating equipment (103) is configured to generate, on the basis of the mask pattern information, the mask patterns corresponding to the mask pattern information and displaying the generated mask patterns. The interaction between the (101) and the mask pattern generating equipment (103) is realized by using an Internet of Things technology, so that various different mask patterns are displayed by the mask pattern generating equipment (103) through an electronic ink screen, and a quick, convenient and low-cost exposure manner is realized.
(FR) L'invention concerne un système pour générer des motifs de masque, un procédé pour générer des motifs de masque et un système d'exposition, le système pour générer des motifs de masque comprenant un équipement de fourniture de motif de masque (101), un équipement de transmission de motif de masque (102) et un équipement de génération de motif de masque (103), l'équipement de fourniture de motif de masque (101) étant configuré pour fournir des signaux de motif de masque par l'intermédiaire d'un réseau filaire ou sans fil ; l'équipement de transmission de motif de masque (102) étant configuré pour traiter les signaux de motif de masque fournis par l'équipement de fourniture de motif de masque (101) de façon à générer des informations de motif de masque et transmettre les informations de motif de masque générées par l'intermédiaire de signaux d'identification par radiofréquence (RFID) ; et l'équipement de génération de motif de masque (103) étant configuré pour générer, sur la base des informations de motif de masque, les motifs de masque correspondant aux informations de motif de masque et afficher les motifs de masque générés. L'interaction entre le (101) et l'équipement de génération de motif de masque (103) est réalisée à l'aide d'une technologie de l'Internet des choses, de telle sorte que divers motifs de masque différents sont affichés par l'équipement de génération de motif de masque (103) par l'intermédiaire d'un écran à encre électronique, et une manière d'exposition rapide, commode et peu coûteuse est obtenue.
(ZH) 一种产生掩膜图案的系统、产生掩膜图案的方法以及曝光系统,其中产生掩膜图案的系统包括:掩膜图案提供设备(101),配置为通过有线或无线网络提供掩膜图案信号;掩膜图案传送设备(102),配置为对掩膜图案提供设备(101)提供的掩膜图案信号进行处理,以产生掩膜图案信息,并且通过射频标识"RFID"信号传送产生的掩膜图案信息;以及掩膜图案产生设备(103),配置为基于掩膜图案信息,产生与掩膜图案信息对应的掩膜图案并显示。利用物联网技术实现了掩膜图案提供设备(101)与掩膜图案产生设备(103)之间的交互,使得掩膜图案产生设备(103)通过电子墨水屏显示多种不同掩膜图案,从而实现了快速方便、低成本的曝光方式。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)