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1. (WO2017156396) FIELD CALIBRATION OF THREE-DIMENSIONAL NON-CONTACT SCANNING SYSTEM
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Pub. No.: WO/2017/156396 International Application No.: PCT/US2017/021783
Publication Date: 14.09.2017 International Filing Date: 10.03.2017
IPC:
G01Q 40/00 (2010.01) ,G01Q 10/00 (2010.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
40
Calibration, e.g. of probes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
10
Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
Applicants:
CYBEROPTICS CORPORATION [US/US]; 5900 Golden Hills Drive Golden Valley, Minnesota 55416, US
Inventors:
HAUGAN, Carl; US
HETZLER, Gregory; US
DUQUETTE, David; US
DETHIER, Jean-Louis; US
RUDD, Eric; US
Agent:
CHRISTENSON, Christopher; Kelly Holt & Christenson PLLC 141 West 1st Street, Suite 100 Waconia, Minnesota 55387, US
CHRISTENSON, Christopher; US
HOLT, Christopher; US
KELLY, Joseph; US
MEEHAN, Scott; US
SCHOLZ, Katherine; US
TAYLOR, Andrew; US
VOLKMANN, Christopher; US
Priority Data:
62/307,05311.03.2016US
Title (EN) FIELD CALIBRATION OF THREE-DIMENSIONAL NON-CONTACT SCANNING SYSTEM
(FR) ÉTALONNAGE DE CHAMP DE SYSTÈME DE BALAYAGE TRIDIMENSIONNEL SANS CONTACT
Abstract:
(EN) A three-dimensional non-contact scanning system (100) is provided. The system (100) includes a stage (110) and at least one scanner (102) configured to scan an object (112) on the stage (110). A motion control system is configured to generate relative motion between the at least one scanner (102) and the stage (110). A controller (118) is coupled to the at least one scanner (102) and the motion control system. The controller (118) is configured to perform a field calibration where an artifact (130) having features with known positional relationships is scanned by the at least one scanner (102) in a plurality of different orientations to generate sensed measurement data (120) corresponding to the features. Deviations between the sensed measurement data (120) and the known positional relationships are determined. Based on the determined deviations, a coordinate transform (124) is calculated for each of the at least one scanner (102) where the coordinate transform (124) reduces the determined deviations.
(FR) L'invention concerne un système de balayage tridimensionnel sans contact (100). Le système (100) comprend une platine (110) et au moins un élément de balayage (102) configuré pour balayer un objet (112) sur la platine (110). Un système de commande de mouvement est configuré pour générer un mouvement relatif entre ledit au moins un élément de balayage (102) et la platine (110). Un dispositif de commande (118) est couplé audit au moins un élément de balayage (102) et au système de commande de mouvement. Le dispositif de commande (118) est configuré pour effectuer un étalonnage de champ où un artéfact (130) ayant des caractéristiques avec des relations de position connues est balayé par ledit au moins un élément de balayage (102) dans une pluralité d'orientations différentes pour générer des données de mesure détectées (120) correspondant aux caractéristiques. Des écarts entre les données de mesure détectées (120) et les relations de position connues sont déterminés. Sur la base des écarts déterminés, une transformation de coordonnées (124) est calculée pour chacun desdits au moins un élément de balayage (102), la transformation de coordonnées (124) réduisant les écarts déterminés.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)