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1. (WO2017154513) THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR, THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR PRODUCTION METHOD, AND THERMAL MASS FLOW METER USING SAID THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR
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Pub. No.: WO/2017/154513 International Application No.: PCT/JP2017/005816
Publication Date: 14.09.2017 International Filing Date: 17.02.2017
IPC:
G01F 1/684 (2006.01) ,G01F 1/69 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
F
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1
Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68
by using thermal effects
684
Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
F
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
1
Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through the meter in a continuous flow
68
by using thermal effects
684
Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
688
using a particular type of heating, cooling or sensing element
69
of resistive type
Applicants:
日立金属株式会社 HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目2番70号 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224, JP
Inventors:
佐々木 龍 SASAKI Ryu; JP
石井 守 ISHII Mamoru; JP
Agent:
特許業務法人プロスペック特許事務所 PROSPEC PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中村区太閤三丁目1番18号 名古屋KSビル12階 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801, JP
Priority Data:
2016-04857811.03.2016JP
Title (EN) THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR, THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR PRODUCTION METHOD, AND THERMAL MASS FLOW METER USING SAID THERMAL MASS FLOW RATE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE DÉBIT MASSIQUE THERMIQUE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CAPTEUR DE DÉBIT MASSIQUE THERMIQUE, ET DÉBITMÈTRE MASSIQUE THERMIQUE UTILISANT LEDIT CAPTEUR DE DÉBIT MASSIQUE THERMIQUE
(JA) 熱式質量流量センサ、当該熱式質量流量センサの製造方法、及び当該熱式質量流量センサを用いる熱式質量流量計
Abstract:
(EN) For a thermal mass flow rate sensor 10 enclosed in a sealed container 11 having an inert atmosphere for the purpose of suppressing the loss of covering layers of sensor wires 13a, 13b associated with high-temperature use, an exhaust pipe 16 is further provided that causes the inner space of the sealed container 11 and the outside to be in airtight communication with each other via an exhaust hole 16a that is a through-hole formed in the outer wall of the sealed container 11. The end part on the opposite side of the exhaust pipe 16 from the exhaust hole 16a is sealed through plastic deformation so as to form a sealed part 16b. As a result, it is possible to airtightly close the internal space of a sealed container 11 after forming the sealed container 11 in a normal atmosphere. The sealed part 16b may be further sealed through welding. In this way, it is possible to assemble a sealed container 11 simply and with a high degree of accuracy and suppress reduction in the airtightness of the sealed container 11 associated with high-temperature use.
(FR) La présente invention concerne un capteur de débit massique thermique 10 enfermé dans un contenant étanche 11 ayant une atmosphère inerte dans le but de supprimer la perte des couches de recouvrement des fils du capteur 13a, 13b associée à une utilisation à haute température, le capteur comprenant en outre un tube d'évacuation 16 permettant à l'espace interne du contenant étanche 11 et à l'extérieur d'être en communication étanche à l'air l'un avec l'autre par l'intermédiaire d'un orifice d'évacuation 16a qui est un trou traversant formé dans la paroi externe du contenant étanche 11. La partie d'extrémité du côté opposé du tube d'évacuation 16 à partir de l'orifice d'évacuation 16a est hermétiquement fermée par déformation plastique de façon à former une partie hermétiquement fermée 16b. Par conséquent, il est possible de fermer de manière étanche l'espace interne d'un contenant étanche 11 après la formation du contenant étanche 11 sous une atmosphère normale. La partie hermétiquement fermée 16b peut être en outre hermétiquement fermée par soudage. De cette manière, il est possible d'assembler un contenant étanche 11 de manière simple et avec un degré de précision élevé, et de supprimer la réduction de l'étanchéité à l'air du contenant étanche 11 associée à une utilisation à haute température.
(JA) 高温における使用に伴うセンサワイヤ13a及び13bの被覆層の消失を抑制することを目的として不活性雰囲気にある密閉容器11の中に封入される熱式質量流量センサ10において、密閉容器11の外壁に形成された貫通孔である排気孔16aを介して密閉容器11の内部空間と外部とを気密に連通する管である排気管16を更に備える。排気管16の排気孔16aとは反対側の端部が塑性変形によって封止されて封止部16bを形成する。これにより、通常の大気雰囲気下において密閉容器11を形成した後に密閉容器11の内部空間を気密に閉じることができる。上記封止部16bは溶接によって更に封止されていてもよい。このようにして密閉容器11を容易且つ高精度に組み立てることができ且つ高温における使用に伴う密閉容器11の気密性の低下を抑制することができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)