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1. (WO2017153084) APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A NON-THERMAL ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA
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Pub. No.: WO/2017/153084 International Application No.: PCT/EP2017/051559
Publication Date: 14.09.2017 International Filing Date: 25.01.2017
IPC:
H05H 1/24 (2006.01) ,H01L 41/00 (2013.01)
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
24
Generating plasma
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41
Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
Applicants:
EPCOS AG [DE/DE]; Rosenheimer Str. 141e 81671 Munich, DE
Inventors:
WEILGUNI, Michael; AT
KUDELA, Pavol; AT
Agent:
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schloßschmidstr. 5 80639 München, DE
Priority Data:
10 2016 104 490.311.03.2016DE
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A NON-THERMAL ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ SERVANT À PRODUIRE UN PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE NON THERMIQUE
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES NICHTTHERMISCHEN ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS
Abstract:
(EN) The present invention relates to an apparatus for generating a non-thermal atmospheric pressure plasma, which apparatus has a first piezoelectric transformer (1), a second piezoelectric transformer (101) and a drive circuit which is configured to apply an input voltage to each of the piezoelectric transformers (1, 101), wherein the input voltage which is applied to the first transformer (1) is phase-shifted through 90° in relation to the input voltage which is applied to the second transformer (101). The invention further relates to a method for generating a non-thermal atmospheric pressure plasma by means of at least one first piezoelectric transformer (1) and one second piezoelectric transformer (101).
(FR) La présente invention concerne un dispositif pour produire un plasma à pression atmosphérique non thermique, qui comporte un premier transformateur piézoélectrique (1), un second transformateur piézoélectrique (101) et un circuit de commande qui est conçu pour appliquer une tension d'entrée sur chacun des transformateurs piézoélectriques (1, 101), la tension d'entrée appliquée sur le premier transformateur (1) étant déphasée de 90° par rapport à la tension d'entrée appliquée sur le second transformateur (101). L'invention concerne en outre un procédé de production de plasma à pression atmosphérique non thermique au moyen d'au moins un premier transformateur piézoélectrique (1) et d'un second transformateur piézoélectrique (101).
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas, die einen ersten piezoelektrische Transformator (1), einen zweiten piezoelektrische Transformator (101) und eine Ansteuerschaltung, die dazu ausgestaltet ist, an jeden der piezoelektrischen Transformatoren (1, 101) eine Eingangsspannung anzulegen, aufweist, wobei die Eingangsspannung, die an den ersten Transformator (1) angelegt wird, gegenüber der Eingangsspannung, die an den zweiten Transformator (101) angelegt wird, um 90° phasenverschoben ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Erzeugung von nichtthermischem Atmosphärendruck-Plasma mittels zumindest eines ersten piezoelektrischen Transformators (1) und eines zweiten piezoelektrischen Transformators (101).
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African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)