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1. (WO2017151291) WIRE GRID POLARIZER MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.: WO/2017/151291 International Application No.: PCT/US2017/017319
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 10.02.2017
IPC:
G02B 5/30 (2006.01) ,G02B 1/11 (2015.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5
Optical elements other than lenses
30
Polarising elements
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
1
Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
10
Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
11
Anti-reflection coatings
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
MARKLE, David; US
CHEN, Jang Fung; US
Agent:
PATTERSON, B. Todd; US
VER STEEG, Steven H.; US
Priority Data:
62/303,96904.03.2016US
62/401,45129.09.2016US
Title (EN) WIRE GRID POLARIZER MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE POLARISEUR À GRILLE MÉTALLIQUE
Abstract:
(EN) The present disclosure generally relates to systems and methods for manufacturing wire grid polarizers for LCDs using interference lithography, which are also useful for generating large-area grating patterns. In one embodiment, a method includes depositing a bottom anti-reflective coating layer over an aluminum coated flat panel display substrate, depositing a photoresist layer over the bottom anti-reflective coating layer, and exposing the photoresist layer with an image from a phase grating mask. The exposure with the phase grating mask is done by imaging the ±1 diffraction orders from the phase grating mask onto the substrate using a half Dyson optical system. A plurality of half Dyson systems are generally used in parallel to pattern fine geometry lines and spaces of a wire grid polarizer for a large area substrate. Each half Dyson system includes a primary mirror, a positive lens and a reticle.
(FR) La présente invention concerne généralement des systèmes et des procédés de fabrication de polariseurs à grille métallique pour des afficheurs à cristaux liquides (LCD) par lithographie interférentielle, qui sont également utiles dans la génération de motifs de réseau à grande surface. Dans un mode de réalisation, un procédé consiste à déposer une couche de revêtement de fond anti-réfléchissante sur un substrat d'affichage de panneau plat revêtu d'aluminium, déposer une couche de photorésine sur la couche de revêtement de fond anti-réfléchissante, et exposer la couche de photorésine avec une image provenant d'un masque de réseau de phase. L'exposition avec le masque de réseau de phase est effectuée par imagerie des ± 1 ordres de diffraction à partir du masque de réseau de phase sur le substrat à l'aide d'un demi-système optique de Dyson. Une pluralité de demi-systèmes de Dyson sont généralement utilisés en parallèle pour former des motifs à lignes et espaces géométriques fins d'un polariseur à grille métallique pour un substrat de grande surface. Chaque demi-système de Dyson comprend un miroir primaire, une lentille positive et un réticule.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)