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1. (WO2017151288) METHOD AND APPARATUS FOR PURIFYING TARGET MATERIAL FOR EUV LIGHT SOURCE
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Pub. No.: WO/2017/151288 International Application No.: PCT/US2017/017240
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 09.02.2017
IPC:
C01G 19/02 (2006.01) ,C22B 7/04 (2006.01) ,C22B 25/08 (2006.01) ,G21K 5/08 (2006.01)
[IPC code unknown for C01G 19/02][IPC code unknown for C22B 7/04][IPC code unknown for C22B 25/08][IPC code unknown for G21K 5/08]
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
BAUMGART, Peter Michael; US
RAJYAGURU, Chirag; US
SAMS, Benjamin Andrew; US
RIDINGER, Armin Bernhard; US
KARDOKUS, Janine Kiyabu; US
VASCHENKO, Georgiy O.; US
Agent:
NGUYEN, Joseph A.; US
Priority Data:
15/057,08629.02.2016US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PURIFYING TARGET MATERIAL FOR EUV LIGHT SOURCE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE PURIFICATION DE MATÉRIAU CIBLE POUR UNE SOURCE LUMINEUSE D'EUV
Abstract:
(EN) A deoxidation system for purifying target material for an EUV light source includes a furnace having a central region and a heater for heating the central region in a uniform manner. A vessel is inserted in the central region of the furnace, and a crucible is disposed within the vessel. A closure device covers an open end of the vessel to form a seal having vacuum and pressure capability. The system also includes a gas input tube, a gas exhaust tube, and a vacuum port. A gas supply network is coupled in flow communication with an end of the gas input tube and a gas supply network is coupled in flow communication with an end of the gas exhaust tube. A vacuum network is coupled in flow communication with, one end of the vacuum port. A method and apparatus for purifying target material also are described.
(FR) L'invention concerne un système de désoxydation de purification de matériau cible pour une source lumineuse d'EUV, comprenant un four comportant une zone centrale et un dispositif de chauffage pour chauffer la zone centrale de manière uniforme. Un récipient est introduit dans la zone centrale du four et un creuset est disposé dans le récipient. Un dispositif de fermeture recouvre une extrémité ouverte du récipient pour former un joint présentant une capacité de vide et de pression. Le système comprend également un tube d'entrée de gaz, un tube d'échappement de gaz et un orifice d'aspiration. Un réseau d'alimentation en gaz est accouplé en communication fluidique avec une extrémité du tube d'entrée de gaz et un réseau d'alimentation en gaz est accouplé en communication fluidique avec une extrémité du tube d'échappement de gaz. Un réseau de vide est accouplé en communication fluidique avec une extrémité de l'orifice de vide. Un procédé et un appareil de purification d'un matériau cible sont également décrits.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)