Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2017151238) SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR HIGH TEMPERATURE PROCESSES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2017/151238 International Application No.: PCT/US2017/014531
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 23.01.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/683][IPC code unknown for H01L 21/67]
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
PARKHE, Vijay D.; US
Agent:
PORTNOVA, Marina; US
KIMES, Benjamin A.; US
Priority Data:
15/061,73404.03.2016US
Title (EN) SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR HIGH TEMPERATURE PROCESSES
(FR) ENSEMBLE SUPPORT DE SUBSTRAT POUR TRAITEMENTS À HAUTE TEMPÉRATURE
Abstract:
(EN) An electrostatic chuck comprises a ceramic body having a top and a bottom, one or more heating elements disposed in the ceramic body, and one or more electrodes disposed in the ceramic body. The electrostatic chuck further comprises a plurality of objects bonded to the bottom of the ceramic body by a metal bond, wherein collectively the plurality of objects comprise a plurality of features distributed over the bottom of the ceramic body at a plurality of different distances from a center of a circle defined by the bottom of the ceramic body, and wherein a feature of the plurality of features accommodates a fastener.
(FR) L'invention concerne un mandrin électrostatique qui comprend un corps céramique ayant une partie supérieure et une partie inférieure, un ou plusieurs éléments chauffants disposés dans le corps céramique et une ou plusieurs électrodes disposées dans le corps céramique. Le mandrin électrostatique comprend en outre une pluralité d'objets liés à la partie inférieure du corps céramique par une liaison métallique, la pluralité d'objets comprenant collectivement une pluralité de caractéristiques réparties sur la partie inférieure du corps céramique à plusieurs distances différentes d'un centre d'un cercle défini par la partie inférieure du corps céramique et une caractéristique de la pluralité de caractéristiques logeant un élément de fixation.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)