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1. (WO2017150574) BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK MODULE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
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Pub. No.: WO/2017/150574 International Application No.: PCT/JP2017/007987
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 28.02.2017
Chapter 2 Demand Filed: 16.08.2017
IPC:
H02N 13/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
02
GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
N
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
13
Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
Applicants:
国立大学法人東京工業大学 TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 東京都目黒区大岡山2-12-1 2-12-1, Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 1528550, JP
Inventors:
齋藤 滋規 SAITO, Shigeki; JP
河野 健人 KAWANO, Kento; JP
田尻 陽亮 TAJIRI, Yosuke; JP
▲高▼橋 邦夫 TAKAHASHI, Kunio; JP
デリカ ラドン DHELIKA, Radon; JP
Agent:
青木 篤 AOKI, Atsushi; JP
石田 敬 ISHIDA, Takashi; JP
古賀 哲次 KOGA, Tetsuji; JP
小林 良博 KOBAYASHI, Yoshihiro; JP
蛯谷 厚志 EBITANI, Atsushi; JP
Priority Data:
2016-03810929.02.2016JP
Title (EN) BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK MODULE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
(FR) MODULE DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE BIPOLAIRE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a bipolar electrostatic chuck that has a fine hair structure in an attachment surface and that can be used for a thin film dielectric such as a plastic sheet. The bipolar electrostatic chuck module is configured such that a fine hair structure is provided to an electrostatic chuck attachment surface to which an attachment object is to be attached, an insulating layer is disposed between the positive electrode and the negative electrode at the tip of a fine hair on the attachment surface, and an electrostatic force is generated when a voltage is applied between the positive electrode and the negative electrode to cause the attachment object to attach to the electrostatic chuck attachment surface.
(FR) La présente invention a pour objet de fournir un mandrin électrostatique bipolaire qui présente une structure de poils fins dans une surface de fixation et qui peut être utilisé pour un diélectrique à couches minces tel qu'une feuille de plastique. Le module de mandrin électrostatique bipolaire est conçu de telle sorte qu'une structure de poils fins est disposée sur une surface de fixation de mandrin électrostatique à laquelle un objet de fixation doit être fixé, une couche isolante est disposée entre l'électrode positive et l'électrode négative à la pointe des poils fins sur la surface de fixation, et une force électrostatique est générée lorsqu'une tension est appliquée entre l'électrode positive et l'électrode négative pour amener l'objet de fixation à se fixer à la surface de fixation de mandrin électrostatique.
(JA) 本発明は、吸着面に微細毛構造を有し、プラスチックシートなどの薄膜誘電体に対応し得る双極型静電チャックを提供することを目的とする。吸着対象物を吸着するための静電チャック吸着面に微細毛構造を有し、吸着面の微細毛の先端部分には正極および負極間に絶縁層が配置され、正極と負極間に電圧を印加することにより静電力が生じ、静電チャック吸着面に吸着対象物が吸着されるように構成してなる双極型静電チャックモジュール。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)