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1. (WO2017150062) SPECTROMETRY DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/150062 International Application No.: PCT/JP2017/003660
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 01.02.2017
IPC:
G01N 21/27 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25
Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
27
using photo-electric detection
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3
Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28
Investigating the spectrum
45
Interferometric spectrometry
Applicants:
国立大学法人香川大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KAGAWA UNIVERSITY [JP/JP]; 香川県高松市幸町1番1号 1-1, Saiwai-cho, Takamatsu-shi, Kagawa 7608521, JP
Inventors:
石丸 伊知郎 ISHIMARU, Ichiro; JP
Agent:
特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; 京都府京都市下京区東洞院通四条下ル元悪王子町37番地 豊元四条烏丸ビル Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
Priority Data:
2016-04035702.03.2016JP
Title (EN) SPECTROMETRY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SPECTROMÉTRIE
(JA) 分光測定装置
Abstract:
(EN) This spectrometry device is provided with: a splitting optical system (objective lens 15, phase shifter 19) which splits light emitted from an object being measured into two, in a first axis direction, to form first and second measuring light; an optical path length difference imparting means (phase shifter 19) for imparting an optical path length difference, which varies continuously in a second axis direction perpendicular to the first axis direction, between the first and second measuring light; an imaging optical system (imaging lens 17) which causes the first and second measuring light to which a continuously varying optical path length difference has been imparted to be condensed in the first axis direction to form linear interfering light on an image forming plane; an interfering light detecting unit (two-dimensional light receiving array device 21) including a plurality of pixels disposed with a prescribed period; a processing unit (control device 25) which acquires a spectrum on the basis of the light intensity of the interfering light detected by the interfering light detecting unit; a conjugate plane imaging optical system which is disposed between the object being measured and the splitting optical system, and which has a conjugate plane that is common with the splitting optical system; and an amplitude type diffraction grating (multiple slits 13, 113) disposed on the conjugate plane. A translucent portion of the amplitude type diffraction grating allows internally diffused light to pass, while attenuating polarized light originating from surface reflected light.
(FR) L'invention concerne un dispositif de spectrométrie qui comprend : un système optique de division (objectif 15, déphaseur 19) qui divise une lumière émise par un objet à mesurer en deux, dans une première direction d'axe, pour former des première et seconde lumières de mesure ; un moyen d'application de différence de longueur de trajet optique (déphaseur 19) pour conférer une différence de longueur de trajet optique, qui varie en continu dans une seconde direction d'axe perpendiculaire à la première direction d'axe, entre les première et seconde lumières de mesure ; un système optique d'imagerie (lentille d'imagerie 17) qui amène les première et seconde lumières de mesure, auxquelles une différence de longueur de trajet optique variable en continu a été conférée, à être condensées dans la première direction d'axe pour former un lumière d'interférence linéaire sur un plan de formation d'image ; une unité de détection de lumière d'interférence (dispositif à matrice de réception de lumière bidimensionnelle 21) comprenant une pluralité de pixels disposés selon une période prescrite ; une unité de traitement (dispositif de commande 25) qui acquiert un spectre sur la base de l'intensité lumineuse de la lumière d'interférence détectée par l'unité de détection de lumière d'interférence ; un système optique d'imagerie à plan conjugué qui est disposé entre l'objet mesuré et le système optique de division, et qui a un plan conjugué qui est commun avec le système optique de division ; et un réseau de diffraction de type à amplitude (multiples fentes 13, 113) disposé sur le plan conjugué. Une partie translucide du réseau de diffraction de type à amplitude permet à une lumière diffusée de manière interne de passer, tout en atténuant une lumière polarisée provenant de la lumière réfléchie par la surface.
(JA) 本発明は、被測定物から放出された光を第1軸方向に2つに分割して第1及び第2測定光を形成する分割光学系(対物レンズ15、位相シフタ19)、第1及び第2測定光の間に第1軸方向と直交する第2軸方向に沿って連続的に変化する光路長差を付与する光路長差付与手段(位相シフタ19)、連続的に変化する光路長差が付与された第1及び第2測定光を第1軸方向に集光させて結像面上に直線状の干渉光を形成する結像光学系(結像レンズ17)、所定の周期で配置された複数の画素を有する干渉光検出部(2次元受光アレイデバイス21)、干渉光検出部で検出された干渉光の光強度に基づきスペクトルを取得する処理部(制御装置25)、被測定物と分割光学系の間に配置された該分割光学系と共通の共役面を有する共役面結像光学系、共役面に配置された振幅型回折格子(多重スリット13,113)、を備える。振幅型回折格子の透光部は表面反射光に由来する偏光を減衰させつつ内部拡散光を通過させる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)