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1. (WO2017149946) VARIABLE FOCUS MIRROR AND OPTICAL SCANNING DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/149946 International Application No.: PCT/JP2017/000804
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 12.01.2017
IPC:
G02B 26/08 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/10 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08
for controlling the direction of light
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08
for controlling the direction of light
10
Scanning systems
Applicants:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661, JP
Inventors:
大山 浩市 OYAMA Koichi; JP
勝間田 卓 KATSUMATA Takashi; JP
榎本 哲也 ENOMOTO Tetsuya; JP
丸山 ユミ MARUYAMA Yumi; JP
Agent:
特許業務法人ゆうあい特許事務所 YOU-I PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦一丁目6番5号 名古屋錦シティビル4階 Nagoya Nishiki City Bldg. 4F 1-6-5, Nishiki, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
Priority Data:
2016-03790229.02.2016JP
Title (EN) VARIABLE FOCUS MIRROR AND OPTICAL SCANNING DEVICE
(FR) MIROIR À FOCALE VARIABLE ET DISPOSITIF DE BALAYAGE OPTIQUE
(JA) 可変焦点ミラーおよび光走査装置
Abstract:
(EN) This variable focus mirror is provided with: a plate-like substrate (1) which has a recess (14) formed to be open in the rear surface thereof and in which the thickness at a portion where the recess is formed is smaller than the thickness at the outside of the recess; a first piezoelectric element (2) formed on the front surface side, of the substrate, of the portion where the recess is formed; a reflective surface (41) formed on a side, of the first piezoelectric element, opposite to the substrate; and a second piezoelectric element (3) formed in a state of being separate from the first piezoelectric element so as to extend, on the substrate, from the front surface side of the portion where the recess is formed to the front surface side of the portion outside the recess. The film stress of the first piezoelectric element and the film stress of the second piezoelectric element are both set to be generated in a tensile direction or in a compression direction.
(FR) L'invention concerne un miroir à focale variable pourvu : d'un substrat lamellaire (1) qui possède un évidement (14) conçu pour être ouvert dans sa surface arrière, et qui présente une épaisseur à l'emplacement d'une partie où l'évidement est formé inférieure à l'épaisseur à l'extérieur de l'évidement ; d'un premier élément piézoélectrique (2) situé sur le côté surface avant, sur le substrat, de la partie où l'évidement est formé ; d'une surface réfléchissante (41) formée sur un côté, du premier élément piézoélectrique, en regard du substrat ; et d'un second élément piézoélectrique (3) disposé de manière à être séparé du premier élément piézoélectrique de façon à s'étendre, sur le substrat, depuis le côté surface avant de la partie où l'évidement est formé jusqu'au côté surface avant de la partie à l'extérieur de l'évidement. La contrainte de film du premier élément piézoélectrique et la contrainte de film du second élément piézoélectrique sont toutes les deux définies pour être générées dans une direction de traction ou dans une direction de compression.
(JA) 可変焦点ミラーであって、裏面に開口する凹部(14)が形成され、凹部が形成された部分の厚みが凹部の外側の厚みよりも小さくされた板状の基部(1)と、基部のうち凹部が形成された部分の表面側に形成された第1圧電素子(2)と、第1圧電素子に対して基部とは反対側に形成された反射面(41)と、基部のうち凹部が形成された部分の表面側から凹部の外側の部分の表面側に至るように、第1圧電素子と離された状態で形成された第2圧電素子(3)と、を備え、第1圧電素子の膜応力および第2圧電素子の膜応力は、共に引張方向の膜応力とされているか、または、共に圧縮方向の膜応力とされている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)