Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2017148847) MEMS DEVICE USING A RELEASED DEVICE LAYER AS MEMBRANE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2017/148847 International Application No.: PCT/EP2017/054472
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 27.02.2017
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9
Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
Applicants:
ETH ZURICH [CH/CH]; Raemistrasse 101 / ETH transfer 8092 Zurich, CH
Inventors:
KÜHNE, Stéphane; CH
Priority Data:
16157829.929.02.2016EP
Title (EN) MEMS DEVICE USING A RELEASED DEVICE LAYER AS MEMBRANE
(FR) DISPOSITIF À SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE (MEMS) UTILISANT UNE COUCHE DE DISPOSITIF DÉCOLLÉE COMME MEMBRANE
Abstract:
(EN) The present invention provides a pressure transducer (1) and a method for fabricating a pressure transducer. The pressure transducer is for use in a gas pressure gauge and uses a squeeze-film. The pressure transducer comprises a first wafer (2) and a second wafer (3), wherein - at least the first wafer comprises a device layer (2.1) and a handle layer (2.3); - the second wafer (3) has a top and bottom surface; and wherein - at least the device layer (2.1) of the first wafer (2) is structured. The pressure transducer further comprises a membrane (4.1), a cavity (5) between the membrane (4.1) and the second wafer (3), wherein the cavity (5) has a cavity bottom, an inlet (12) connecting the cavity (5) to a surrounding, a suspension (6) of the membrane (4.1), wherein the suspension (6) allows oscillation of the membrane (4.1), and an oscillation generator to set the membrane (4.1) in oscillation. The pressure transducer is characterized in that the structured device layer (2.1) of the first wafer (2) comprises the membrane (4.1) and suspension (6) of the membrane (4.1), in that the first wafer (2) is bonded to the top surface of the second wafer (3), and in that the handle layer (2.3) of the first wafer (2) is structured to release the suspension (6). )
(FR) La présente invention concerne un transducteur de pression (1) et un procédé de fabrication d'un transducteur de pression. Le transducteur de pression est destiné à être utilisé dans un capteur de pression de gaz et utilise un film d'huile. Le transducteur de pression comprend une première tranche (2) et une seconde tranche (3), - au moins la première tranche comprenant une couche de dispositif (2.1) et une couche de manipulation (2.3) ; - la seconde tranche (3) ayant une surface supérieure et une surface inférieure ; et - au moins la couche de dispositif (2.1) de la première tranche (2) étant structurée. Le transducteur de pression comprend en outre une membrane (4.1), une cavité (5) entre la membrane (4.1) et la seconde tranche (3), la cavité (5) ayant un fond de cavité, une entrée (12) reliant la cavité (5) à un environnement, une suspension (6) de la membrane (4.1), la suspension (6) permettant l'oscillation de la membrane (4.1), et un générateur d'oscillations pour placer la membrane (4.1) en oscillation. Le transducteur de pression est caractérisé en ce que la couche de dispositif structurée (2.1) de la première tranche (2) comprend la membrane (4.1) et la suspension (6) de la membrane (4.1), en ce que la première tranche (2) est collée sur la surface supérieure de la seconde tranche (3), et en ce que la couche de manipulation (2.3) de la première tranche (2) est structurée pour décoller la suspension (6).
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)