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1. (WO2017148656) WAVELENGTH COMBINING OF MULTIPLE SOURCES
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Pub. No.: WO/2017/148656 International Application No.: PCT/EP2017/052575
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 07.02.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 27/14 (2006.01)
[IPC code unknown for G03F 7/20][IPC code unknown for G02B 27/14]
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML HOLDING N.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
HUGERS, Ronald, Franciscus, Herman; NL
KELKAR, Parag, Vinayak; US
TEUNISSEN, Paulus, Antonius, Andreas; NL
Agent:
SLENDERS, Peter; NL
Priority Data:
62/302,97303.03.2016US
Title (EN) WAVELENGTH COMBINING OF MULTIPLE SOURCES
(FR) COMBINAISON DE LONGUEURS D'ONDE DE PLUSIEURS SOURCES
Abstract:
(EN) A light combiner (500) for use in a metrology tool includes a plurality of light sources (LED 1, LED 2, LED 3, LED4, LED 5), a first filter (502), and a second filter (504). The first filter is designed to substantially reflect light generated from a first source of the plurality of light sources, and to substantially transmit light generated from a second source of the plurality of light sources. The second filter is designed to substantially reflect light generated from the first source and the second source of the plurality of light sources, and to substantially transmit light generated from a third source of the plurality of light sources. An angle of incidence of the light generated from the first source on a surface of the first filter is less than 30 degrees.
(FR) Selon la présente invention, un combinateur de lumière (500) destiné à être utilisé dans un outil de métrologie comprend une pluralité de sources lumineuses (LED 1, LED 2, LED 3, LED 4, LED 5), un premier filtre (502), et un second filtre (504). Le premier filtre est conçu pour réfléchir sensiblement la lumière générée à partir d'une première source de la pluralité de sources lumineuses, et pour transmettre sensiblement la lumière générée à partir d'une deuxième source de la pluralité de sources lumineuses. Le second filtre est conçu pour réfléchir sensiblement la lumière générée à partir de la première source et de la deuxième source de la pluralité de sources lumineuses, et pour transmettre sensiblement la lumière générée à partir d'une troisième source de la pluralité de sources lumineuses. Un angle d'incidence de la lumière générée à partir de la première source sur une surface du premier filtre est inférieur à 30 degrés.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)