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1. (WO2017148555) METHOD FOR DETERMINING A HEIGHT POSITION OF AN OBJECT
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Pub. No.: WO/2017/148555 International Application No.: PCT/EP2016/080771
Publication Date: 08.09.2017 International Filing Date: 13.12.2016
Chapter 2 Demand Filed: 02.10.2017
IPC:
G02B 21/00 (2006.01) ,G01B 11/22 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
[IPC code unknown for G02B 21][IPC code unknown for G01B 11/22][IPC code unknown for G01B 11/24]
Applicants:
CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena, DE
Inventors:
LANGHOLZ, Nils; DE
DRESCHER, Viktor; DE
Agent:
PATENTANWÄLTE GEYER, FEHNERS & PARTNER MBB; Perhamerstraße 31 80687 München, DE
Priority Data:
10 2016 103 736.202.03.2016DE
Title (EN) METHOD FOR DETERMINING A HEIGHT POSITION OF AN OBJECT
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D’UNE POSITION EN HAUTEUR D’UN OBJET
(DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER HÖHENLAGE EINES OBJEKTS
Abstract:
(EN) The invention relates to a method for determining a height position of an object (12) at a lateral first location of the object (12) by means of a microscope (10), which images the object (12) with a point spread function along a z-direction corresponding to the height direction, comprising the steps of imaging the object (12) by means of the microscope (10) in the far field and determining a far field intensity, calculating a maximum intensity expected at the first location by multiplying the far field intensity (IW) by a predefined scaling factor, partially confocally imaging the object (12) at the first location with the focus at a measurement position in the z-direction which lies in the depth of field range, and determining a partially confocal intensity of the partially confocal imaging at the first location, calculating the intensity corresponding to the point spread function (at the first location) by forming a difference between the partially confocal intensity and a product of the far field intensity and a predefined combination factor, calculating the z-coordinate of the focus at which the point spread function is a maximum, using a previously known form of the point spread function, the calculated intensity corresponding to the point spread function and the calculated expected maximum intensity, and using the z-coordinate as the height position of the object (12) at the first location.
(FR) L'invention concerne un procédé permettant de déterminer la position en hauteur d’un objet (12) en un premier point latéral de l’objet (12) au moyen d’un microscope (10) qui reproduit l’objet (12) avec une fonction de rendu flou d’image de points le long d’une direction z, qui correspond à la direction de la hauteur. Ledit procédé comprend les étapes suivantes : la reproduction de l’objet (12) avec le microscope (10) dans le grand angle et la détermination d’une intensité de grand angle ; le calcul d’une intensité maximale, attendue au premier point, par multiplication de l’intensité de grand angle (IW) par un facteur d’échelle prédéfini ; la reproduction en partie confocale de l’objet (12) au premier point avec le foyer à une position de mesure dans la direction z qui est située dans la zone de profondeur de champ ; et la détermination d’une intensité confocale de la reproduction en partie confocale au premier point ; le calcul de l’intensité correspondant à la fonction de rendu flou d’image de points au premier point par formation d’une différence entre l’intensité en partie confocale et un produit de l’intensité de grand angle avec un facteur de combinaison prédéfini ; le calcul de la coordonnée z du foyer, à laquelle la fonction de rendu flou d’image de points est maximale, à l’aide d’une forme connue au préalable de la fonction de rendu flou d’image de points, de l’intensité calculée correspondant à la fonction de rendu flou d’image de points et de l’intensité maximale attendue calculée ; et l'utilisation de la cordonnée z en tant que position en hauteur de l’objet (12) au premier point.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Höhenlage eines Objekts (12) an einem lateralen ersten Ort des Objekts (12) mittels eines Mikroskops (10), welches das Objekt (12) mit einer Punktbildverwaschungsfunktion entlang einer z-Richtung, die mit der Höhenrichtung übereinstimmt, abbildet, umfassend die Schritte Abbilden des Objekts (12) mit dem Mikroskop (10) im Weitfeld und Bestimmen einer Weitfeldintensität, Berechnen einer an dem ersten Ort erwarteten, maximalen Intensität durch Multiplikation der Weitfeldintensität (IW) mit einem vorgegebenen Skalierungsfaktor, Teilkonfokales Abbilden des Objekts (12) am ersten Ort mit dem Fokus an einer Messposition in z-Richtung, welcher in dem Tiefenschärfebereich liegt, und Bestimmen einer teilkonfokalen Intensität der teilkonfokalen Abbildung an dem ersten Ort, Berechnen der der Punktbildverwaschungsfunktion entsprechenden Intensität (an dem ersten Ort durch Bildung einer Differenz zwischen der teilkonfokalen Intensität und einem Produkt aus der Weitfeldintensität mit einem vorgegebenen Verknüpfungsfaktor, Berechnen der z-Koordinate des Fokus, an der die Punktbildverwaschungsfunktion maximal ist, unter Verwendung einer vorbekannten Form der Punktbildverwaschungsfunktion, der berechneten, der Punktbildverwaschungsfunktion entsprechenden Intensität und der berechneten, erwarteten maximalen Intensität, und Verwenden der z-Koordinate als Höhenlage des Objekts (12) an dem ersten Ort.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)