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1. (WO2017138372) SOLID-STATE IMAGING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
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明 細 書

発明の名称 固体撮像装置および電子機器

技術分野

0001  

背景技術

0002   0003   0004   0005  

先行技術文献

特許文献

0006  

発明の概要

0007   0008  

課題を解決するための手段

0009   0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019  

発明の効果

0020  

図面の簡単な説明

0021  

発明を実施するための形態

0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050   0051   0052   0053   0054   0055   0056   0057   0058   0059   0060   0061   0062   0063   0064   0065   0066   0067   0068   0069   0070   0071   0072   0073   0074   0075   0076   0077   0078   0079   0080   0081   0082   0083   0084   0085   0086   0087   0088   0089   0090   0091   0092  

符号の説明

0093  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   11   12   13   14   15  

明 細 書

発明の名称 : 固体撮像装置および電子機器

技術分野

[0001]
 本技術は、固体撮像装置および電子機器に関し、特に、シェーディング特性の改善を図ることができるようにする固体撮像装置および電子機器に関する。

背景技術

[0002]
 近年、携帯電話機等の携帯端末に搭載されるカメラモジュールのさらなる小型化が要求されている。これに伴い、このようなカメラモジュールにおいては、レンズと撮像面との間の距離(射出瞳距離)が短くなる傾向にあり、撮像面の中心部の画素に入射する光量と周縁部の画素に入射する光量との差が大きくなってしまう。このことがシェーディングと呼ばれる画像内の感度ムラの発生を招いている。
[0003]
 これに対して、瞳補正技術を用いてシェーディング特性を改善することが行われている。
[0004]
 例えば、従来の球面レンズを用いた固体撮像装置においては、オンチップレンズの射出瞳補正量を、等高線で表して同心円状に変化させることで、シェーディング特性を改善していた。
[0005]
 また、特許文献1には、オンチップレンズの射出瞳補正量を、等高線で表して同心楕円状に変化させた固体撮像装置が開示されている。これにより、非球面レンズを用いた固体撮像装置においても、シェーディング特性を改善することができる。

先行技術文献

特許文献

[0006]
特許文献1 : 特開2006-12910号公報

発明の概要

[0007]
 しかしながら、撮像領域におけるシェーディング分布が同心円状や同心楕円状ではない場合、上述した構成では、局所的にシェーディング特性を改善することができない。すなわち、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置において、最適にシェーディング特性の改善を図ることができなかった。
[0008]
 本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置において、シェーディング特性の改善を図ることができるようにするものである。

課題を解決するための手段

[0009]
 本技術の固体撮像装置は、基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズとを備え、前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される。
[0010]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域に基づいて設定される所定の係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0011]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域のアスペクト比に応じた前記係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0012]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域上の光学中心から複数の方向についての瞳補正量の変化の割合に応じた係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0013]
 前記撮像領域上に複数の光学中心を有し、前記瞳補正関数は、光学中心毎に導出されるようにすることができる。
[0014]
 前記撮像領域に、画素ピッチまたは画素サイズの異なる画素が配列され、前記瞳補正関数は、前記画素の配列パターンに応じた前記係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0015]
 前記基板は、前記撮像領域側が凹面状となるように湾曲しており、前記瞳補正関数は、前記基板の反り量に応じた前記係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0016]
 前記瞳補正関数は、前記基板における電源または配線に応じた前記係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0017]
 前記瞳補正関数は、前記固体撮像装置駆動時の熱分布に応じた前記係数を用いて導出されるようにすることができる。
[0018]
 本技術の電子機器は、基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズとを備え、前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される固体撮像装置を有する。
[0019]
 本技術においては、オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される。

発明の効果

[0020]
 本技術によれば、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置において、シェーディング特性の改善を図ることが可能となる。

図面の簡単な説明

[0021]
[図1] 従来の射出瞳補正について説明する図である。
[図2] 従来の射出瞳補正について説明する図である。
[図3] 任意の形状のシェーディング分布を示す図である。
[図4] 本技術の固体撮像装置の構造を示す断面図である。
[図5] 瞳補正マップ生成処理について説明するフローチャートである。
[図6] 補間関数について説明する図である。
[図7] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図8] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図9] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図10] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図11] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図12] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図13] 瞳補正マップの例を示す図である。
[図14] 本技術の電子機器の構成例を示すブロック図である。
[図15] イメージセンサを使用する使用例を示す図である。

発明を実施するための形態

[0022]
 以下、本技術の実施の形態について図を参照して説明する。なお、説明は以下に示す順序で行うこととする。
 1.従来の射出瞳補正について
 2.本技術の固体撮像装置の構造
 3.瞳補正マップ生成の流れ
 4.瞳補正マップの例
 5.電子機器の構成例
 6.イメージセンサの使用例
[0023]
<1.従来の射出瞳補正について>
 従来の球面レンズを用いた固体撮像装置においては、図1に示されるように、オンチップマイクロレンズ(以下、単にマイクロレンズという)の射出瞳補正量を、撮像領域11の中心から周辺に向かって補正量が大きくなるように、等高線12で表して同心円状に変化させていた。
[0024]
 一方、近年、モバイル用途の固体撮像装置においては、射出瞳距離が短くすることが求められているため、光学レンズとして非球面レンズが用いられている。
[0025]
 しかしながら、非球面レンズは像高(撮像領域の中心から周辺に向かう距離に相当)に対する入射角の変化がリニアではない。そのため、従来の球面レンズに対応したマイクロレンズ位置の補正では、マイクロレンズの集光位置と、画素の受光部との位置が食い違ってしまい、受光部周囲に形成される遮光膜によって入射光が遮光される、いわゆる「ケラレ」が生じてしまう。その結果、シェーディングの悪化や感度の低下を招く。
[0026]
 これに対して、特許文献1では、図2に示されるように、撮像領域11の中心から周辺に向かう距離(像高に対応する)に対するマイクロレンズの射出瞳補正量を、等高線13で表して同心楕円状に変化させることが提案されている。
[0027]
 このような構成によれば、非球面レンズを用いた短射出瞳距離対応の固体撮像装置において、シェーディング特性の改善を図ることが可能となる。
[0028]
 しかしながら、撮像領域におけるシェーディング分布が同心円状や同心楕円状ではない場合、上述した構成では、局所的にシェーディング特性を改善することができない。
[0029]
 例えば、図3に示されるように、撮像領域21におけるシェーディング分布が任意の形状をとるものとする。このような固体撮像装置について、射出瞳補正量を、光学中心に対して等高線22で表して同心円状に変化させるようにした場合、局所的に補正量の最適化を行うことができない。これは、射出瞳補正量を、光学中心に対して等高線で表して同心楕円状に変化させるようにした場合も同様である。
[0030]
 すなわち、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置において、最適にシェーディング特性の改善を図ることができなかった。
[0031]
<2.本技術の固体撮像装置の構造>
 図4は、本技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構造を示す断面図である。図4の固体撮像装置31は、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサとして構成されるものとするが、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサとして構成されてもよい。
[0032]
 固体撮像装置31においては、例えばシリコン半導体からなる基板32上の撮像領域に、画素を構成する複数の受光部33がマトリクス状に配列され、各受光部列に対応してCCD構造の垂直転送レジスタ34が形成される。さらに、撮像領域上に、図示せぬパッシベーション膜および平坦化膜35を介してカラーフィルタ36およびマイクロレンズ37が形成される。
[0033]
 垂直転送レジスタ34は、基板32の表面に形成された転送チャネル領域上に、ゲート絶縁層を介して例えば多結晶シリコンからなる転送電極38が形成されて構成される。
[0034]
 転送電極38上を含む基板32の表面には、層間絶縁膜39が形成される。層間絶縁膜39上には、受光部33に対応する部分を除いて遮光膜41が形成される。すなわち、遮光膜41の受光部33に対応する部分には、開口41Aが形成される。遮光膜41は、例えばアルミニウム(Al)やタングステン(W)などにより形成される。
[0035]
 カラーフィルタ36は、赤色フィルタ成分36R、緑色フィルタ成分36G、および青色フィルタ成分36Bからなる、ベイヤ配列の原色系カラーフィルタとして形成される。
[0036]
 マイクロレンズ37は、それぞれ対応する受光部33に集光される位置に配列されて形成される。この場合、受光部33上には遮光膜41の開口41Aがあり、基本的には、この開口41Aを通過した光のみが受光部33に到達するようになされている。
[0037]
 また、図4においては、絞り45の開口点Pから、入射光46が入射される。
[0038]
 本実施の形態においては、撮像領域は横長形状で形成される。また、単位画素は正方形に形成されるとともに、その受光部33の開口41Aは縦長の長方形に形成される。
[0039]
 また、本実施の形態においては、撮像領域の各画素に対応して形成されるマイクロレンズ37それぞれの射出瞳補正量は、それぞれの画素位置において適切な補正量となるようになされている。
[0040]
 具体的には、マイクロレンズ37それぞれの射出瞳補正量は、撮像領域上の所定の画素位置について算出された補正量が、後述する補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布である瞳補正マップで表される。
[0041]
<3.瞳補正マップ生成の流れ>
 ここで、図5のフローチャートを参照して、瞳補正マップ生成処理について説明する。
[0042]
 ステップS1において、撮像領域上の所定の画素位置における画素出力を取得する。ここでは、画素出力として、対象となる画素の実際の画素値が取得されるものとするが、対象となる画素の画素位置での入射特性(例えば入射角データなど)が取得されるようにしてもよい。
[0043]
 ステップS2において、それぞれの画素位置の画素出力に基づいて、各画素位置で必要とされる瞳補正量を算出する。
[0044]
 ステップS3において、算出された各画素位置での瞳補正量を補間関数により補間することで、瞳補正関数を導出する。
[0045]
 補間関数としては、例えば、3次スプライン関数が用いられる。
[0046]
 例えば、図6に示されるように、撮像領域に対応する画素平面上の所定の方向について、各画素位置の瞳補正量を補間するN個の3次スプライン関数F(0),F(1),F(2),F(3),・・・F(N)を導出する。
[0047]
 さらに、画素平面を表すxy平面上での画素位置(x,y)周辺の瞳補正量を、導出された3次スプライン関数を用いて算出する。そして、画素位置(x,y)における瞳補正量I(x,y)を、バイキュービック補間を用いて算出する。
[0048]
 このようにして、撮像領域上の任意の画素位置における瞳補正量を表す瞳補正関数が導出される。
[0049]
 このとき、撮像領域上の画素出力の分布が複雑な形状であるほど、瞳補正関数は複雑化するため、後述するように、撮像領域に基づいて設定される所定の係数を用いることで、瞳補正関数の簡略化および高精度化を図ることができる。
[0050]
 図5のフローチャートに戻り、ステップS4において、導出された瞳補正関数からxy平面上の2次元分布を抽出することで、瞳補正マップを生成する。
[0051]
 以上の流れのように、瞳補正マップが生成されることで、局所的にも補正量の最適化を行うことができるので、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置において、最適にシェーディング特性の改善を図ることが可能となる。また、これにより、レンズ設計の自由度を向上させることも可能となる。
[0052]
<4.瞳補正マップの例>
 以下においては、瞳補正マップの具体的な例について説明する。
[0053]
(例1)
 図7は、瞳補正マップの第1の例を示している。
[0054]
 図7の例においては、撮像領域51のアスペクト比に応じた係数を用いることで、瞳補正関数が導出される。図7の瞳補正マップにおいては、光学中心から周辺に向かう距離に対するマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線61で表して横長の同心角丸長方形状に変化するようになされている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0055]
 図7の構成を有する固体撮像装置31は、広角360°を撮影するカメラ、魚眼レンズを備えるカメラ、有効画素を最大限活用し画角端の感度を向上させた、例えば医療用のカメラなどに備えられる固体撮像装置に適用することができる。
[0056]
(例2)
 図8は、瞳補正マップの第2の例を示している。
[0057]
 図8の例においては、撮像領域51上の光学中心から、垂直方向、水平方向、および対角方向の3方向についての瞳補正量の変化の割合に応じた係数を用いることで、瞳補正関数が導出される。図8の瞳補正マップにおいては、光学中心から周辺に向かう距離に対するマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線62で表して、3方向にそれぞれ異なる割合で同心状に変化するようになされている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0058]
 図8の構成を有する固体撮像装置31は、撮像領域の対角方向の解像度および感度を向上させた感知カメラなどに備えられる固体撮像装置に適用することができる。
[0059]
 なお、図8の例に限らず、撮像領域51上の光学中心から複数の所定方向についての瞳補正量の変化の割合に応じた係数を用いることで、瞳補正関数が導出されるようにしてもよい。
[0060]
(例3)
 図9は、瞳補正マップの第3の例を示している。
[0061]
 図9の例においては、固体撮像装置31が、撮像領域51上に4つの光学中心を有しており、その光学中心毎に、瞳補正関数が導出される。図9の瞳補正マップにおいては、それぞれの光学中心から周辺に向かう距離に対するマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線63で表して同心状に変化するようになされている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0062]
 図9の構成を有する固体撮像装置31は、メインレンズと撮像領域51との間に複数の小型レンズアレイを有するライトフィールドカメラなどに備えられる固体撮像装置に適用することができる。
[0063]
 なお、図9の例に限らず、撮像領域51上の所定位置に複数の光学中心を有するようにしてもよい。
[0064]
(例4)
 図10は、瞳補正マップの第4の例を示している。
[0065]
 図10の例においては、撮像領域51に、他の画素と画素ピッチや画素サイズの異なる画素が配列され、その配列パターンに応じた係数を用いて瞳補正関数が導出される。図10の例では、例えば2画素に対応して設けられる1つのマイクロレンズが複数点在しており、それぞれのマイクロレンズの射出瞳補正量が、それぞれのマイクロレンズ(画素)の配置に応じた瞳補正マップ64として与えられている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0066]
 図10の構成を有する固体撮像装置31は、例えば、画角周辺での感度低下を画素サイズで補うような、低背化モジュール向けの固体撮像装置に適用することができる。
[0067]
(例5)
 図11は、瞳補正マップの第5の例を示している。
[0068]
 図11の例においては、固体撮像装置31の基板32全体が、撮像領域51側が凹面となるように湾曲しており、基板32の反り量に応じた係数を用いて瞳補正関数が導出される。図11の瞳補正マップにおいては、光学中心から周辺に向かう距離に対するマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線65で表して同心状に変化するようになされている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0069]
 図11の構成を有する固体撮像装置31は、いわゆる湾曲センサに適用することができる。
[0070]
(例6)
 図12は、瞳補正マップの第6の例を示している。
[0071]
 近年、画素の微細化に伴う配線の細線化とチップの拡大に伴い、配線抵抗による電圧降下が無視できなくなり、各画素トランジスタの面内特性差が生じてしまう。そのため、線型性や変換効率などの信号量に関する特性について、入射光量の絶対値を変えることで、その面内均一性を高める必要がある。
[0072]
 そこで、図12の例においては、基板32における電源や配線に偏りがある固体撮像装置31について、その電源や配線に応じた係数を用いて瞳補正関数が導出される。図12の瞳補正マップにおいては、光学中心からずれた位置から周辺に向かう距離に対するマイクロレンズの射出瞳補正量が、等高線66で表して非同心状に変化するようになされている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0073]
 図12の構成を有する固体撮像装置31は、複数のチップを有する複眼カメラなどに備えられる固体撮像装置に適用することができる。
[0074]
 なお、固体撮像装置31駆動時の熱分布に応じた係数を用いて瞳補正関数が導出されるようにすることで、図12に示されるような瞳補正マップが生成されるようにしてもよい。
[0075]
(例7)
 図13は、瞳補正マップの第7の例を示している。
[0076]
 図13の例においては、任意の形状のシェーディング分布に応じて瞳補正関数が導出される。図13の例では、マイクロレンズの瞳補正量が、瞳補正マップ67で与えられている。これにより、撮像領域51全体の画素について、適正な射出瞳補正を行うことができる。
[0077]
 図13の構成を有する固体撮像装置31は、上述した例以外の、任意の形状のシェーディング分布を有する固体撮像装置に適用することができる。さらに、上述した例1乃至6が、任意に組み合わされて適用されるようにしてもよい。
[0078]
 また、本技術は、任意の形状の撮像領域や基板を有する固体撮像装置にも適用することも可能である。
[0079]
 以上においては、ベイヤ配列の原色系カラーフィルタが用いられるものとしたが、市松配列やストライプ配列など、いかなる配列のカラーフィルタが用いられるようにしてもよい。また、カラーフィルタは、原色系に限らず、補色系でも同様の効果が得られる。
[0080]
 また、本技術において、図示はしないが、マイクロレンズの射出瞳補正量の変化分として、マイクロレンズのずらし量を変化させるのに代えて、マイクロレンズの曲率および/または屈折率を変化させるようにしてもよい。この場合、マイクロレンズ曲率、屈折率の変化は、上述した例と同様に、瞳補正マップで表されるようにする。さらに、マイクロレンズの射出瞳補正量の変化分として、マイクロレンズのずらし量を変化させるとともに、マイクロレンズの曲率および/または屈折率を変化させるようにしてもよい。
[0081]
 なお、本技術は、固体撮像装置への適用に限られるものではなく、撮像装置にも適用可能である。ここで、撮像装置とは、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラ等のカメラシステムや、携帯電話機等の撮像機能を有する電子機器のことをいう。なお、電子機器に搭載されるモジュール状の形態、すなわちカメラモジュールを撮像装置とする場合もある。
[0082]
<5.電子機器の構成例>
 ここで、図14を参照して、本技術を適用した電子機器の構成例について説明する。
[0083]
 図14に示される電子機器200は、光学レンズ201、シャッタ装置202、固体撮像装置203、駆動回路204、および信号処理回路205を備えている。図14においては、固体撮像装置203として、上述した本技術の固体撮像装置1を電子機器(デジタルスチルカメラ)に設けた場合の実施の形態を示す。
[0084]
 光学レンズ201は、被写体からの像光(入射光)を固体撮像装置203の撮像面上に結像させる。これにより、信号電荷が一定期間、固体撮像装置203内に蓄積される。シャッタ装置202は、固体撮像装置203に対する光照射期間および遮光期間を制御する。
[0085]
 駆動回路204は、シャッタ装置202および固体撮像装置203に、駆動信号を供給する。シャッタ装置202に供給される駆動信号は、シャッタ装置202のシャッタ動作を制御するための信号である。固体撮像装置203に供給される駆動信号は、固体撮像装置203の信号転送動作を制御するための信号である。固体撮像装置203は、駆動回路204から供給される駆動信号(タイミング信号)により信号転送を行う。信号処理回路205は、固体撮像装置203から出力された信号に対して各種の信号処理を行う。信号処理が行われた映像信号は、メモリなどの記憶媒体に記憶されたり、モニタに出力される。
[0086]
 本実施の形態の電子機器200においては、固体撮像装置203において、シェーディング特性の改善を図ることができるため、結果として、高画質の画像を撮影可能な電子機器を提供することが可能となる。
[0087]
<6.イメージセンサの使用例>
 最後に、本技術を適用した固体撮像装置が備えるイメージセンサの使用例について説明する。
[0088]
 図15は、上述したイメージセンサの使用例を示す図である。
[0089]
 上述したイメージセンサは、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
[0090]
 ・デジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
 ・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
 ・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
 ・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
 ・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
 ・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
 ・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
 ・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
[0091]
 なお、本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
[0092]
 さらに、本技術は以下のような構成をとることができる。
(1)
 基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、
 各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズと
 を備え、
 前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される
 固体撮像装置。
(2)
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域に基づいて設定される所定の係数を用いて導出される
 (1)に記載の固体撮像装置。
(3)
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域のアスペクト比に応じた前記係数を用いて導出される
 (2)に記載の固体撮像装置。
(4)
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域上の光学中心から複数の方向についての瞳補正量の変化の割合に応じた係数を用いて導出される
 (2)または(3)に記載の固体撮像装置。
(5)
 前記撮像領域上に複数の光学中心を有し、
 前記瞳補正関数は、光学中心毎に導出される
 (2)乃至(4)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(6)
 前記撮像領域に、画素ピッチまたは画素サイズの異なる画素が配列され、
 前記瞳補正関数は、前記画素の配列パターンに応じた前記係数を用いて導出される
 (2)乃至(5)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(7)
 前記基板は、前記撮像領域側が凹面状となるように湾曲しており、
 前記瞳補正関数は、前記基板の反り量に応じた前記係数を用いて導出される
 (2)乃至(6)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(8)
 前記瞳補正関数は、前記基板における電源または配線に応じた前記係数を用いて導出される
 (2)乃至(7)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(9)
 前記瞳補正関数は、前記固体撮像装置駆動時の熱分布に応じた前記係数を用いて導出される
 (2)乃至(8)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(10)
 基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、
 各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズと
 を備え、
 前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される固体撮像装置
 を有する電子機器。

符号の説明

[0093]
 31 固体撮像装置, 32 基板, 33 受光部, 36 カラーフィルタ, 37 オンチップマイクロレンズ, 51 撮像領域, 200 電子機器, 203 固体撮像装置

請求の範囲

[請求項1]
 基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、
 各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズと
 を備え、
 前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される
 固体撮像装置。
[請求項2]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域に基づいて設定される所定の係数を用いて導出される
 請求項1に記載の固体撮像装置。
[請求項3]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域のアスペクト比に応じた前記係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項4]
 前記瞳補正関数は、前記撮像領域上の光学中心から複数の方向についての瞳補正量の変化の割合に応じた係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項5]
 前記撮像領域上に複数の光学中心を有し、
 前記瞳補正関数は、光学中心毎に導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項6]
 前記撮像領域に、画素ピッチまたは画素サイズの異なる画素が配列され、
 前記瞳補正関数は、前記画素の配列パターンに応じた前記係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項7]
 前記基板は、前記撮像領域側が凹面状となるように湾曲しており、
 前記瞳補正関数は、前記基板の反り量に応じた前記係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項8]
 前記瞳補正関数は、前記基板における電源または配線に応じた前記係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項9]
 前記瞳補正関数は、前記固体撮像装置駆動時の熱分布に応じた前記係数を用いて導出される
 請求項2に記載の固体撮像装置。
[請求項10]
 基板上の撮像領域に配列された複数の画素と、
 各画素に対応して形成されるオンチップマイクロレンズと
 を備え、
 前記オンチップマイクロレンズそれぞれの射出瞳補正量は、前記撮像領域上の所定の位置について算出された算出補正量が補間関数により補間されることで導出される瞳補正関数の2次元分布で表される固体撮像装置
 を有する電子機器。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]

[ 図 11]

[ 図 12]

[ 図 13]

[ 図 14]

[ 図 15]