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1. (WO2017138189) ICP ANALYSIS DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/138189 International Application No.: PCT/JP2016/079590
Publication Date: 17.08.2017 International Filing Date: 05.10.2016
IPC:
G01N 21/73 (2006.01) ,H05K 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
62
Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
71
thermally excited
73
using plasma burners or torches
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
K
PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
7
Constructional details common to different types of electric apparatus
20
Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
Applicants:
株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
Inventors:
中野 智仁 NAKANO, Tomohito; JP
沢田 拓也 SAWADA, Takuya; JP
Agent:
特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; 京都府京都市下京区東洞院通四条下ル元悪王子町37番地 豊元四条烏丸ビル Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
Priority Data:
2016-02294309.02.2016JP
Title (EN) ICP ANALYSIS DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE D'ICP
(JA) ICP分析装置
Abstract:
(EN) In this ICP analysis device, a water detection sensor (21) is disposed in a position where it is possible to detect condensation on a first valve (13) that is made of metal and is positioned upstream in a cooling water circulation flow path (10) from a cooling unit for a high-frequency power supply (3). Additionally, the first valve (13) is disposed in a position that is hit by air brought in from outside the device by a cooling fan. Because the temperature of the cooling water flowing through the first valve (13) is lower than the temperature of the cooling water supplied to the cooling unit for the high-frequency power supply (3) and the first valve (13) is hit by external air having a high humidity, when condensation conditions are met, condensation occurs on the first valve (13) before occurring on the circuit board of the high-frequency power supply. This condensation is detected by the water detection sensor (21), and a control unit (20) stops the operation of the high-frequency power supply (3). As a result, even if the temperature of the cooling water for cooling the circuit board of the high-frequency power supply is too low, it is possible to preempt the formation of condensation on the circuit board and avoid failure, and the like.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'analyse d'ICP dans lequel un capteur de détection d'eau (21) est disposé à une position au niveau de laquelle il est possible de détecter une condensation sur une première soupape (13) qui est constituée de métal et qui est disposée en amont dans un trajet d'écoulement de circulation d'eau de refroidissement (10) allant d'une unité de refroidissement à une alimentation électrique haute fréquence (3). De plus, la première soupape (13) est disposée à une position d'incidence de l'air amené de l'extérieur du dispositif par un ventilateur de refroidissement. Étant donné que la température de l'eau de refroidissement s'écoulant à travers la première soupape (13) est inférieure à la température de l'eau de refroidissement fournie à l'unité de refroidissement de l'alimentation électrique haute fréquence (3) et que la première soupape (13) reçoit l'air extérieur qui a une forte humidité, lorsque les conditions de condensation sont satisfaites, la condensation se forme sur la première soupape (13) avant de se former sur la carte de circuit imprimé de l'alimentation électrique haute fréquence. Cette condensation est détectée par le capteur de détection d'eau (21), et une unité de commande (20) interrompt le fonctionnement de l'alimentation haute fréquence (3). Par conséquent, même si la température de l'eau de refroidissement servant à refroidir la carte de circuit imprimé de l'alimentation haute fréquence est trop basse, il est possible d'anticiper la formation de condensation sur la carte de circuit imprimé et d'éviter une défaillance, et analogue.
(JA) 冷却水の循環流路(10)上で高周波電源(3)の冷却部よりも上流側に位置する金属製の第1バルブ(13)に結露した水を検知可能な位置に水検知センサ(21)を配置する。また、冷却ファンによって装置外から採り入れられた空気が当たる位置に第1バルブ(13)を配置する。第1バルブ(13)を通る冷却水の温度は高周波電源(3)の冷却部に供給される冷却水の温度よりも低く、また第1バルブ(13)には湿度が高い外気が当たるため、結露条件が満たされている場合、高周波電源回路基板よりも早く第1バルブ(13)で結露が生じる。これを水検知センサ(21)で検知し、制御部(20)は高周波電源(3)の動作を停止する。これにより、高周波電源の回路基板を冷却する冷却水の温度が低すぎる場合であっても、該基板で結露が発生するのを未然に防止し故障等を回避することができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
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