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1. (WO2017137266) DEVICE AND METHOD FOR MOIRÉ MEASUREMENT OF AN OPTICAL TEST SPECIMEN



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INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
Internationales Aktenzeichen Aktenzeichen des Anmelders oder Anwalts
PCT/EP2017/051759 16 593 WO
Internationales Anmeldedatum (Tag/Monat/Jahr) (Frühestes) Prioritätsdatum (Tag/Monat/Jahr)
27. Januar 2017 12. Februar 2016
Anmelder
CARL ZEISS SMT GMBH
WEITERES VORGEHEN: Siehe Formblatt PCT/ISA/220 sowie, soweit zutreffend, nachstehender Punkt 5
Dieser internationale Recherchenbericht wurde von dieser Internationalen Recherchenbehörde erstellt und wird dem Anmelder gemäß Artikel 18 übermittelt. Eine Kopie wird dem Internationalen Büro übermittelt.
Darüber hinaus liegt ihm jeweils eine Kopie der in diesem Bericht genannten Unterlagen zum Stand der Technik bei.
1. Grundlage des Berichts
a. Hinsichtlich der Sprache beruht die internationale Recherche auf
der internationalen Anmeldung in der Sprache, in der sie eingereicht wurde.
einer Übersetzung der internationalen Anmeldung in die folgende Sprache                                          , bei der es sich um die Sprache der Übersetzung handelt, die für die Zwecke der internationalen Recherche eingereicht worden ist (Regeln 12.3 a) und 23.1 b)).
b.
Dieser internationale Recherchenbericht wurde erstellt unter Berücksichtigung der Berichtigung eines offensichtlichen Fehlers, die nach Regel 91 von dieser Behörde genehmigt wurde bzw. dieser Behörde mitgeteilt wurde (Regel 43.6bis a)).
c.
Hinsichtlich der Nucleotid- und/oder Aminosäuresequenz, die in der internationalen Anmeldung offenbart wurde, ist die internationale Recherche auf der Grundlage eines Sequenzprotokolls durchgeführt worden, das
2. Bestimmte Ansprüche haben sich als nicht recherchierbar erwiesen
3. Mangelnde Einheitlichkeit der Erfindung
4. Bezeichnung der Erfindung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut von dieser Behörde wie folgt festgesetzt:
5. Zusammenfassung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut nach Regel 38.2 in der in Feld Nr. IV angegebenen Fassung von dieser Behörde festgesetzt. Der Anmelder kann dieser Behörde innerhalb eines Monats nach dem Datum der Absendung dieses internationalen Recherchenberichts eine Stellungnahme vorlegen.
6. Zeichnungen
a.
Ist folgende Abbildung der Zeichnungen mit der Zusammenfassung zu veröffentlichen: Abb. Nr.     1a    
wie vom Anmelder vorgeschlagen.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil der Anmelder selbst keine Abbildung vorgeschlagen hat.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil diese Abbildung die Erfindung besser kennzeichnet.
b.
wird keine der Abbildungen mit der Zusammenfassung veröffentlicht.

A. KLASSIFIZIERUNG DES ANMELDUNGSGEGENSTANDES

     G03F 7/20 (2006.01)i; G01M 11/02 (2006.01)i
Nach der Internationalen Patentklassifikation (IPC) oder nach der nationalen Klassifikation und der IPC

B. RECHERCHIERTE GEBIETE

Recherchierter Mindestprüfstoff (Klassifikationssystem und Klassifikationssymbole) :
     G03F; G01M
Recherchierte, aber nicht zum Mindestprüfstoff gehörende Veröffentlichungen, soweit diese unter die recherchierten Gebiete fallen :
Während der internationalen Recherche konsultierte elektronische Datenbank (Name der Datenbank und evtl. verwendete Suchbegriffe) :
EPO-Internal, INSPEC, WPI Data

C. ALS WESENTLICH ANGESEHENE UNTERLAGEN

Kategorie* Bezeichnung der Veröffentlichung, soweit erforderlich unter Angabe der in Betracht kommenden Teile Betr. Anspruch Nr.
(1)
A
US 2011063592 A1 (EZURA YOSHINOBU [JP] ET AL) 17. März 2011 (2011-03-17)
1-17
Absätze [0140] - [0144]; Abbildung 6
(2)
A
US 2014347654 A1 (MENGEL MARKUS [DE] ET AL) 27. November 2014 (2014-11-27)
1-17
Absätze [0007], [0008]
(3)
A
EP 0418054 A2 (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD [JP]) 20. März 1991 (1991-03-20)
1-17
Spalte 2, Zeile 39 - Spalte 3, Zeile 48; Abbildung 1
*
Besondere Kategorien von angegebenen Veröffentlichungen:
"A"
Veröffentlichung, die den allgemeinen Stand der Technik definiert, aber nicht als besonders bedeutsam anzusehen ist
"E"
frühere Anmeldung oder Patent, die bzw. das jedoch erst am oder nach dem internationalen Anmeldedatum veröffentlicht worden ist
"L"
Veröffentlichung, die geeignet ist, einen Prioritätsanspruch zweifelhaft erscheinen zu lassen, oder durch die das Veröffentlichungsdatum einer anderen im Recherchenbericht genannten Veröffentlichung belegt werden soll oder die aus einem anderen besonderen Grund angegeben ist (wie ausgeführt)
"O"
Veröffentlichung, die sich auf eine mündliche Offenbarung, eine Benutzung, eine Ausstellung oder andere Maßnahmen bezieht
"P"
Veröffentlichung, die vor dem internationalen Anmeldedatum, aber nach dem beanspruchten Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist
"T"
Spätere Veröffentlichung, die nach dem internationalen Anmeldedatum oder dem Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist und mit der Anmeldung nicht kollidiert, sondern nur zum Verständnis des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips oder der ihr zugrundeliegenden Theorie angegeben ist
"X"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann allein aufgrund dieser Veröffentlichung nicht als neu oder auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden
"Y"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann nicht als auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden, wenn die Veröffentlichung mit einer oder mehreren Veröffentlichungen dieser Kategorie in Verbindung gebracht wird und diese Verbindung für einen Fachmann naheliegend ist
"&"
Veröffentlichung, die Mitglied derselben Patentfamilie ist

D. ANGABEN ZU VERÖFFENTLICHUNGEN, DIE ZUR SELBEN PATENTFAMILIE GEHÖREN

Im Recherchenbericht angeführtes Patentdokument Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
Mitglied(er) der Patentfamilie Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
US 2011063592 A1
17. März 2011
KR 20100125365 A
TW 200940684 A
US 2011063592 A1
WO 2009113544 A1
30. November 2010
01. Oktober 2009
17. März 2011
17. September 2009
US 2014347654 A1
27. November 2014
CN 1973246 A
CN 101833247 A
EP 1774405 A2
JP 4845880 B2
JP 2008502126 A
KR 20070024561 A
KR 20120066055 A
TW I406100 B
TW 201341976 A
US 2008180688 A1
US 2008252876 A1
US 2010315651 A1
US 2013293869 A1
US 2014347654 A1
WO 2005119368 A2
30. Mai 2007
15. September 2010
18. April 2007
28. Dezember 2011
24. Januar 2008
02. März 2007
21. Juni 2012
21. August 2013
16. Oktober 2013
31. Juli 2008
16. Oktober 2008
16. Dezember 2010
07. November 2013
27. November 2014
15. Dezember 2005
EP 0418054 A2
20. März 1991
DE 69014180 D1
EP 0418054 A2
US 5062705 A
22. Dezember 1994
20. März 1991
05. November 1991
Name und Postanschrift der Internationalen Recherchenbehörde:
European Patent Office
P.B. 5818, Patentlaan 2, 2280 HV Rijswijk,
Niederlande
Tel.: (+31-70)340-2040
Fax: (+31-70)340-3016
Datum des tatsächlichen Abschlusses der internationalen Recherche:
10. Mai 2017
Absendedatum des internationalen Recherchenberichts:
23. Mai 2017
Bevollmächtigter Bediensteter:
Eisner, Klaus
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