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1. (WO2017135571) LINEAR PLASMA GENERATOR FOR SELECTIVE SURFACE TREATMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2017/135571 International Application No.: PCT/KR2016/015255
Publication Date: 10.08.2017 International Filing Date: 26.12.2016
IPC:
H05H 1/24 (2006.01) ,H05H 1/46 (2006.01) ,H01J 37/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
24
Generating plasma
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
24
Generating plasma
46
using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
Applicants:
PLASMAPP CO., LTD. [KR/KR]; 111, 125, Gwahak-ro Yuseong-gu Daejeon 34141, KR
Inventors:
LIM, Youbong; KR
CHOE, Wonho; KR
Agent:
NURY PATENT LAW FIRM; 4F, 15-5, Teheran-ro 25-gil Gangnam-gu Seoul 06131, KR
Priority Data:
10-2016-001269902.02.2016KR
Title (EN) LINEAR PLASMA GENERATOR FOR SELECTIVE SURFACE TREATMENT
(FR) GÉNÉRATEUR DE PLASMA LINÉAIRE POUR LE TRAITEMENT SÉLECTIF DE SURFACE
Abstract:
(EN) A dielectric barrier discharge device includes: a ground electrode which includes a depression extending in a first direction and is electrically grounded; a power electrode which is buried in the depression of the ground electrode, has a portion exposed to the outside, is applied with an AC voltage, and extends in the first direction; a dielectric barrier portion which is disposed in contact with the power electrode to cover the exposed portion of the power electrode and extends in the first direction; and a mask portion which extends in the first direction, is disposed in a first area in which a target object and the exposed portion of the power electrode face each other, and spatially controls a plasma density to selectively perform a plasma treatment on the target object according to a position of the first direction.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de décharge à barrière diélectrique comportant: une électrode de masse qui comprend un creux s'étendant dans une première direction et est mise à la terre électriquement; une électrode de puissance qui est enterrée dans le creux de l'électrode de masse présente une partie exposée vers l'extérieur, est soumise à l'application d'une tension alternative, et s'étend dans la première direction; une partie de barrière diélectrique qui est disposée en contact avec l'électrode de puissance pour recouvrir la partie exposée de l'électrode de puissance et s'étend dans la première direction; et une partie de masque qui s'étend dans la première direction, est disposée dans une première zone dans laquelle un objet cible et la partie exposée de l'électrode de puissance se font face mutuellement, et commande spatialement une densité de plasma pour effectuer un traitement sélectif au plasma sur l'objet cible en fonction d'une position de la première direction.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)