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1. (WO2017134518) ACTIVE OPENING MEMS SWITCH DEVICE
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Pub. No.: WO/2017/134518 International Application No.: PCT/IB2017/000131
Publication Date: 10.08.2017 International Filing Date: 02.02.2017
IPC:
H01H 59/00 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
H
ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59
Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
Applicants:
ANALOG DEVICES GLOBAL [IE/BY]; 3rd Floor, Par La Ville Place 14 Par La Ville Road Hamilton, BM
Inventors:
TWOHIG, Michael, James; IE
FITZGERALD, Padraig; IE
Agent:
THOMPSON, Andrew; Withers & Rogers LLP 4 More London Riverside London SE1 2AU, GB
Priority Data:
62/291,11104.02.2016US
Title (EN) ACTIVE OPENING MEMS SWITCH DEVICE
(FR) DISPOSITIF INTERRUPTEUR MEMS À OUVERTURE ACTIVE
Abstract:
(EN) Microelectromechanical systems (MEMS) switches are described. The MEMS switches can be actively opened and closed. The switch can include a beam coupled to an anchor on a substrate by one or more hinges. The beam, the hinges and the anchor may be made of the same material in some configurations. The switch can include electrodes, disposed on a surface of the substrate, for electrically controlling the orientation of the beam. The hinges may be thinner than the beam, resulting in the hinges being more flexible than the beam. In some configurations, the hinges are located within an opening in the beam. The hinges may extend in the same direction of the axis of rotation of the beam and/or in a direction perpendicular to the axis of rotation of the beam.
(FR) L'invention porte sur des interrupteurs à microsystème électromécanique (MEMS). Les interrupteurs MEMS peuvent être ouverts et fermés activement. L'interrupteur peut comprendre une poutre accouplée à une ancre sur un substrat par une ou plusieurs charnières. Dans certaines configurations, la poutre, les charnières et l'ancre peuvent être constituées du même matériau. L'interrupteur peut comprendre des électrodes, disposées sur une surface du substrat, pour commander électriquement l'orientation de la poutre. Les charnières peuvent être plus fines que la poutre, en conséquence de quoi les charnières sont plus souples que la poutre. Dans certaines configurations, les charnières sont placées à l'intérieur d'une ouverture dans la poutre. Les charnières peuvent s'étendre dans la même direction que l'axe de rotation de la poutre et/ou dans une direction perpendiculaire à l'axe de rotation de la poutre.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
CN108604517EP3411894